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一种兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件
| 专利名称： | 一种兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件，包括堵气块以及吸嘴帽，其中吸嘴帽上表面圆周等间隔设有内外两圈吸气孔，且内圈吸气孔的直径小于外圈吸气孔的直径，而吸嘴帽侧壁设有吸气口连接抽真空设备，所述堵气块上表面设有内外两圈多个堵气柱，其位置及直径尺寸与吸嘴头上的吸气口一致，且外圈堵气柱的高度以及直径大于内圈堵气柱，所述堵气块插装在吸嘴帽内并在上方形成负压腔，同时堵气块可在吸嘴帽内上下移动使得外圈堵气柱卡入或脱离吸气孔，从而调节吸嘴帽表面吸附尺寸，适应不同直径的晶圆吸附。本发明采用环形分布的吸嘴结构将点吸附改为面吸附，提升吸附的稳定性，同时采用伸缩式结构可以调节吸附面积，来适应不同尺寸的晶圆吸附。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 南通大学;南通斯迈尔精密设备有限公司 |
| 发明人： | 王强;吴庭溪;张振娟;顾贤 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810790067.8 |
| 公开号： | CN108861572A |
| 代理机构： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 |
| 代理人： | 顾森燕 |
| 分类号： | B65G47/91(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G47;B65G47/91 |
| 申请人地址： | 226000 江苏省南通市啬园路9号 |
| 主权项： | 1.一种兼具大小尺寸的晶圆吸嘴组件，其特征在于：包括堵气块以及吸嘴帽，其中吸嘴帽上表面圆周等间隔设有内外两圈吸气孔，且内圈吸气孔的直径小于外圈吸气孔的直径，而吸嘴帽侧壁设有吸气口连接抽真空设备，所述堵气块上表面设有内外两圈多个堵气柱，其位置及直径尺寸与吸嘴头上的吸气口一致，且外圈堵气柱的高度以及直径大于内圈堵气柱，所述堵气块插装在吸嘴帽内并在上方形成负压腔，同时堵气块可在吸嘴帽内上下移动使得外圈堵气柱卡入或脱离吸气孔， 从而调节吸嘴帽表面吸附尺寸，适应不同直径的晶圆吸附。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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