原文传递
一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法
| 专利名称： | 一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法 |
| 摘要： | 本申请公开了一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法，具体涉及硅片加工领域，包括：进水管道；制冷机构，该制冷机构与进水管道连接；储水机构，该储水机构包括储水桶和入流管道，入流管道一端连接制冷机构，另一端连接储水桶，储水桶内设置有温度检测器三和制冷泵；出水管道，该出水管道设置在储水桶上。本申请通过在储水桶内设置温度检测器三和制冷泵，对储水桶内的切削液的温度进行监控和维持，使储水桶内的切削液维持在低温状态。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州赛森电子科技有限公司 |
| 发明人： | 伍志军 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810977876.X |
| 公开号： | CN108858832A |
| 代理机构： | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 |
| 代理人： | 韦宇昕 |
| 分类号： | B28D5/00(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/00 |
| 申请人地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市福新路2号B06一楼（赛森电子） |
| 主权项： | 1.一种硅片切割机切削液冷却装置，包括：进水管道(10)；制冷机构(20)，所述制冷机构(20)与所述进水管道(10)连接；储水机构(30)，所述储水机构(30)包括储水桶(301)和入流管道(308)，所述入流管道(308)一端连接所述制冷机构(20)，另一端连接所述储水桶(301)，所述储水桶(301)内设置有温度检测器三(304)和制冷泵(305)；出水管道(40)，所述出水管道(40)设置在所述储水桶(301)上。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
