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原文传递一种硅片切割机切削液冷却装置

专利名称：	一种硅片切割机切削液冷却装置
摘要：	本申请公开了一种硅片切割机切削液冷却装置，具体涉及硅片加工领域，包括：进水管道；制冷机构，该制冷机构与进水管道连接；储水机构，该储水机构包括储水桶和入流管道，入流管道一端连接制冷机构，另一端连接储水桶，储水桶内设置有温度检测器三和制冷泵；出水管道，该出水管道设置在储水桶上。本申请通过在储水桶内设置温度检测器三和制冷泵，对储水桶内的切削液的温度进行监控和维持，使储水桶内的切削液维持在低温状态。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州赛森电子科技有限公司
发明人：	伍志军
专利状态：	有效
申请日期：	2018-08-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201821379283.5
公开号：	CN209665943U
代理机构：	苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司
代理人：	韦宇昕
分类号：	B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	215600 江苏省苏州市张家港市福新路2号B06一楼(赛森电子)
主权项：	1.一种硅片切割机切削液冷却装置，其特征在于，包括：进水管道(10)；制冷机构(20)，所述制冷机构(20)与所述进水管道(10)连接；储水机构(30)，所述储水机构(30)包括储水桶(301)和入流管道(308)，所述入流管道(308)一端连接所述制冷机构(20)，另一端连接所述储水桶(301)，所述储水桶(301)内设置有温度检测器三(304)和制冷泵(305)；出水管道(40)，所述出水管道(40)设置在所述储水桶(301)上。 2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述入流管道(308)缠绕在所述制冷泵(305)外侧，所述入流管道(308)末端设置有吹水孔(307)。 3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述储水桶(301)内壁上设置有隔热层(303)。 4.根据权利要求1所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述制冷机构(20)包括：分流阀一(201)，所述分流阀一(201)设置在所述进水管道(10)的末端，所述分流阀一(201)上设置有至少两条分流管道一(202)；冷水塔(207)，所述冷水塔(207)设置在所述分流管道一(202)末端；换向阀(212)，所述换向阀(212)与所述冷水塔(207)连通，所述换向阀(212)与所述冷水塔(207)之间设置有温度检测器二(213)，所述换向阀(212)的其中一个出口与所述入流管道(308)连接；回水管(215)，所述回水管(215)的两端分别连接所述换向阀(212)的另一出口和所述进水管道(10)。 5.根据权利要求4所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述冷水塔(207)的出水管上设置有温度检测器一(211)和分流阀二(208)，所述分流阀二(208)上设置有至少两条分流管道二(209)，所述分流管道二(209)上设置有冷水机(210)。 6.根据权利要求4所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述分流管道一(202)内设置有涡流冷却器(204)。 7.根据权利要求4所述的一种硅片切割机切削液冷却装置，其中，所述分流管道一(202)内设置有缓冲垫(203)，所述缓冲垫(203)上设置有小孔。
所属类别：	实用新型