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一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置
| 专利名称： | 一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置 |
| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，包括底座和增压泵，所述增压泵固定在所述底座的上端面，所述底座的上端面设有机架，所述机架的上端固定连接设有存储罐，所述存储罐和所述增压泵之间连通设有输液管一，所述输液管一上设有分流阀，所述分流阀连通设有输液管二，所述存储罐的下端连通设有出液管。本发明与现有技术相比的优点在于：本单晶硅片用线切割机切削液供给装置，可以提供增压输送，并带有切削液存储功能，能够进行自由移动，能够应对切削液不足的状况，密封效果好。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 江苏晶成光学有限公司 |
| 发明人： | 周伟平 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811448735.5 |
| 公开号： | CN109382922A |
| 代理机构： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 |
| 代理人： | 叶培辉 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5 |
| 申请人地址： | 221700 江苏省徐州市丰县经济开发区高新技术产业园13#标准厂房 |
| 主权项： | 1.一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置，包括底座(1)和增压泵(2)，其特征在于：所述增压泵(2)固定在所述底座(1)的上端面，所述底座(1)的上端面设有机架(3)，所述机架(3)的上端固定连接设有存储罐(4)，所述存储罐(4)和所述增压泵(2)之间连通设有输液管一(5)，所述输液管一(5)上设有分流阀(6)，所述分流阀(6)连通设有输液管二(7)，所述存储罐(4)的下端连通设有出液管(8)。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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