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原文传递一种硅片切割液冷却装置

专利名称：	一种硅片切割液冷却装置
摘要：	一种硅片切割液冷却装置，该装置包括喷液机构和冷却机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗内设置有切割液过滤筒，收集斗的下斗口连通有若干螺旋出液管，螺旋出液管外套装有冷却箱，冷却箱的下部设有进风口，进风口处设有冷风机，冷却箱的上部设有出风口。该装置简单实用、冷却效率高，能够将使用后的硅片切割液进行集中冷却处理、冷却效果好，有效的保证了硅片切割的正常进行。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏鹏程化工有限公司
发明人：	吴昌皂
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820468968.0
公开号：	CN208263221U
代理机构：	连云港润知专利代理事务所 32255
代理人：	王彦明
分类号：	B28D7/02(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D7;B28D7/02
申请人地址：	222000 江苏省连云港市赣榆区柘汪临港产业区发展大道68号
主权项：	1.一种硅片切割液冷却装置，其特征在于：该装置包括喷液机构和冷却机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述冷却机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗内设置有切割液过滤筒，收集斗的下斗口连通有若干螺旋出液管，螺旋出液管外套装有冷却箱，冷却箱的下部设有进风口，进风口处设有冷风机，冷却箱的上部设有出风口；该装置还包括切割液收集槽，螺旋出液管均与切割液收集槽连通，切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过导液管与切割液收集槽的下部连通。
所属类别：	实用新型