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原文传递一种硅片切割液回收装置

专利名称：	一种硅片切割液回收装置
摘要：	一种硅片切割液回收装置，该装置包括喷液机构和收液机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗的下方设置有切割液收集槽，切割液收集槽通过收集管与收集斗的连通，收集管内设置有切割液过滤筒；所述切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过喷洒管与切割液收集槽的下部连通。该装置设计合理、简单实用，不仅能实现硅片切割液的均匀、全方位喷洒，而且能够将喷洒后的切割液进行有效去杂、冷却回收再利用。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏鹏程化工有限公司
发明人：	吴昌皂
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820467262.2
公开号：	CN208263220U
代理机构：	连云港润知专利代理事务所 32255
代理人：	王彦明
分类号：	B28D7/02(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D7;B28D7/02;B28D7/00
申请人地址：	222000 江苏省连云港市赣榆区柘汪临港产业区发展大道68号
主权项：	1.一种硅片切割液回收装置，其特征在于：该装置包括喷液机构和收液机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗的下方设置有切割液收集槽，切割液收集槽通过收集管与收集斗的连通，收集管内设置有切割液过滤筒；所述切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过喷洒管与切割液收集槽的下部连通。
所属类别：	实用新型