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原文传递一种硅片切割液过滤冷却装置

专利名称：	一种硅片切割液过滤冷却装置
摘要：	本实用新型公开了一种硅片切割液过滤冷却装置，涉及硅片切割液处理设备技术领域。本实用新型，过滤箱(1)内斜向设置过滤板；冷却箱(2)中设置内部带有制冷管(206)的冷却板；进液管道(501)连接着过滤箱(1)，过滤箱(1)通过中间管道(502)与冷却箱(2)连接，冷却箱(2)连接着出液管道(503)，制冷器(4)通过冷管(504)连通着置于冷却箱(2)中的冷却板内的制冷管(206)。与现有技术相比，本实用新型中，可以对切割液进行过滤、冷却处理，使其循环再利用，不排废液；过滤板斜向布置，可溢流不阻滞过滤；多道过滤，处理后的切割液纯度高，对硅片切割面质量有利；以冷水作为切割液时，能够节约水资源。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	山东大海新能源发展有限公司
发明人：	曾磊;张玉玉;纪杨
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-24T00:00:00+0800
申请号：	CN201920583926.6
公开号：	CN209832254U
代理机构：	北京中北知识产权代理有限公司
代理人：	段秋玲
分类号：	B28D7/02(2006.01);B;B28;B28D;B28D7
申请人地址：	257300 山东省东营市广饶县经济开发区綦公路以北,西康路以西
所属类别：	实用新型