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原文传递薄膜表面的缺陷检测装置

专利名称：	薄膜表面的缺陷检测装置
摘要：	本发明是检测测量物表面的缺陷的检测装置，涉及一种薄膜表面的缺陷检测装，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，所述照明部的中心轴与所述图案获取部的中心轴一致。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	韩国;KR
申请人：	HB技术有限公司
发明人：	金润赫
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810365670.1
公开号：	CN108872261A
代理机构：	北京冠和权律师事务所 11399
代理人：	朱健;张国香
分类号：	G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/95
申请人地址：	韩国忠清南道牙山市
主权项：	1.一种薄膜表面的缺陷检测装置，作为检测测量物表面的缺陷的检测装置，其特征在于，通过生成光并将所述生成的光向所述测量物表面入射的照明部和获取通过所述入射的光而生成的图案的图案获取部分析所述获取的图案，检测薄膜表面的缺陷，并且，在所述测量物的上部形成有物镜。
所属类别：	发明专利