专利名称: |
一种气敏传感器及其形成方法 |
摘要: |
公开了一种气敏传感器,包括:半导体衬底、位于所述半导体衬底上的绝缘层、位于所述绝缘层上的氧化锌,所述氧化锌作为气敏层,并且所述氧化锌的类型与半导体衬底不同。本发明制成氧化锌/绝缘层/半导体衬底结构的气敏传感器,结构更简单,其中氧化锌作为气敏层,可以用半导体工艺制作,从而气敏传感器的制作方法与半导体工艺兼容。进一步的,氧化锌包含两层,其中顶层的第二氧化锌膜中形成有阵列排布的凹槽,这样可以增加氧化锌气敏层的比表面积,从而可以提高气敏传感器的灵敏度。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
浙江;33 |
申请人: |
中芯集成电路(宁波)有限公司 |
发明人: |
陈达;罗海龙;叶菲 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810432279.9 |
公开号: |
CN108918599A |
代理机构: |
北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 |
代理人: |
张清芳 |
分类号: |
G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/12 |
申请人地址: |
315803 浙江省宁波市北仑区小港街道安居路335号3幢、4幢、5幢 |
主权项: |
1.一种气敏传感器,其特征在于,包括:半导体衬底、位于所述半导体衬底上的绝缘层、位于所述绝缘层上的氧化锌,所述氧化锌作为气敏层,并且所述氧化锌的类型与半导体衬底不同。 |
所属类别: |
发明专利 |