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一种半导体气敏传感器性能测试系统及测试方法
| 专利名称： | 一种半导体气敏传感器性能测试系统及测试方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体气敏传感器性能测试系统及测试方法，待测半导体气敏传感器设置在操作平台内，配气装置和真空泵分别与操作平台连接，计算机通过数据采集装置的万用表与半导体气敏传感器连接，控制系统的一端分别与真空泵、配气装置和数据采集装置连接，另一端与计算机连接，通过操作平台内设置的传感器阵列对通入气体的半导体气敏传感器表面电信号进行实时监测。本发明提供了简捷、稳定、信号强、响应快速的自动测试系统，能对系统的配气和信号采集等功能实现自动控制。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 陕西科技大学 |
| 发明人： | 葛万银;常哲;高飒飒;焦思怡;徐美美;叶晓慧;张荔;刘毅 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810481183.1 |
| 公开号： | CN108918602A |
| 代理机构： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 |
| 代理人： | 高博 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/12 |
| 申请人地址： | 710021 陕西省西安市未央区大学园区 |
| 主权项： | 1.一种半导体气敏传感器性能测试系统，其特征在于，包括操作平台(1)、真空泵(2)、配气装置、控制系统、数据采集装置和计算机(8)，待测半导体气敏传感器设置在操作平台(1)内，配气装置和真空泵(2)分别与操作平台(1)连接，计算机(8)通过数据采集装置的万用表(7)与半导体气敏传感器连接，真空泵(2)、配气装置和数据采集装置均通过控制系统与计算机(8)连接，通过操作平台(1)内设置的传感器阵列对通入气体的半导体气敏传感器表面电信号进行实时监测。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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