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一种薄膜电容湿度传感器及其制备方法
| 专利名称： | 一种薄膜电容湿度传感器及其制备方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜电容湿度传感器及其制备方法，其中薄膜电容湿度传感器包括湿敏材料薄膜层，所述湿敏材料薄膜层的一面覆有上电极层，另一面覆有下电极层。与现有技术比较，本发明所提供的薄膜电容传感器能在保证稳定性、灵敏度的前提下，可以对空气中的水分实现瞬间响应，响应时间在3 s内，可以实时迅速的监控空气湿度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 广州九思科技有限公司 |
| 发明人： | 杨启飞;廖胜楼 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810569939.8 |
| 公开号： | CN108398466A |
| 代理机构： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 |
| 代理人： | 林名钦;周郑奇 |
| 分类号： | G01N27/22(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/22 |
| 申请人地址： | 510670 广东省广州市高新技术开发区科学城香山路17号A503 |
| 主权项： | 1.一种薄膜电容湿度传感器，其特征在于，包括湿敏材料薄膜层，所述湿敏材料薄膜层的一面覆有上电极层，另一面覆有下电极层。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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