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原文传递一种薄膜电容湿度传感器

专利名称：	一种薄膜电容湿度传感器
摘要：	本实用新型公开了一种薄膜电容湿度传感器，其中薄膜电容湿度传感器包括湿敏材料薄膜层，所述湿敏材料薄膜层的一面覆有上电极层，另一面覆有下电极层。与现有技术比较，本实用新型所提供的薄膜电容传感器能在保证稳定性、灵敏度的前提下，可以对空气中的水分实现瞬间响应，响应时间在3 s内，可以实时迅速的监控空气湿度。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	广州九思科技有限公司
发明人：	杨启飞;廖胜楼
专利状态：	有效
申请日期：	2018-06-05T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-04T00:00:00+0800
申请号：	CN201820863512.4
公开号：	CN208937525U
代理机构：	广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	林名钦;周郑奇
分类号：	G01N27/22(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	510670 广东省广州市高新技术开发区科学城香山路17号A503
主权项：	1.一种薄膜电容湿度传感器，其特征在于，包括湿敏材料薄膜层，所述湿敏材料薄膜层的一面覆有上电极层，另一面覆有下电极层。 2.根据权利要求1所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述湿敏材料薄膜的厚度为1~6 μm。 3.根据权利要求2所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述湿敏材料薄膜的厚度为2 ~5.5 μm。 4.根据权利要求2所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述湿敏材料薄膜为由以醚键为主要感湿点的交联聚醚树脂制备而成的薄膜。 5.根据权利要求1所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述上电极层的厚度为50~200 nm。 6.根据权利要求1所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述下电极层的厚度为50~200 nm。 7.根据权利要求1所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述上电极层和下电极层的材质分别为金、铂、铬中的一种或几种。 8.根据权利要求1或5或6或7所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述上电极层的厚度为下电极层厚度的0.8~1.2倍。 9.根据权利要求8所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述上电极层的厚度等于所述下电极层的厚度。 10.根据权利要求1所述的薄膜电容湿度传感器，其特征在于，所述上电极层和所述下电极层是镀在所述湿敏材料薄膜层上的。
所属类别：	实用新型