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原文传递近背向散射光学测量系统

专利名称：	近背向散射光学测量系统
摘要：	本发明属于光学测量技术领域，具体涉及一种近背向散射光学测量系统，包括取样装置和测量装置，其特征在于：所述取样装置包括球状真空靶室和系统成像镜头，所述球状真空靶室内设置有靶点和散射板；打靶激光入射靶点产生的近背向散射光沿打靶反方向散射后由散射板产生漫反射，漫反射光穿过球状真空靶室上的测量窗口后，再经过系统成像镜头进入测量装置。本发明解决了现有的背向散射诊断技术存在因损伤阈值低而难以满足大规模激光驱动装置近背向散射光测量需求的技术问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	陕西;61
申请人：	中国科学院西安光学精密机械研究所
发明人：	闫亚东;何俊华;王维;韦明智;薛艳博;张敏
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201711341525.1
公开号：	CN108333147A
代理机构：	西安智邦专利商标代理有限公司 61211
代理人：	陈广民
分类号：	G01N21/47(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/47
申请人地址：	710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
主权项：	1.一种近背向散射光学测量系统，包括取样装置和测量装置，其特征在于：所述取样装置包括球状真空靶室和系统成像镜头，所述球状真空靶室内设置有靶点和散射板；打靶激光入射靶点产生的近背向散射光沿打靶反方向散射后由散射板产生漫反射，漫反射光穿过球状真空靶室上的测量窗口后，再经过系统成像镜头进入测量装置。
所属类别：	发明专利