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原文传递一种自排气钽酸锂单晶棒晶托

专利名称：	一种自排气钽酸锂单晶棒晶托
摘要：	本实用新型公开了一种自排气钽酸锂单晶棒晶托，它包括基体、一体设置于所述基体任一表面中部的承料体、一体设置于所述基体表面上且围设于所述承料体四周的多个支撑体以及设置于所述承料体上表面边缘的热敏胶圈，每个所述支撑体和所述承料体之间形成沟槽，所述热敏胶圈上开设有缺口，所述支撑体上表面为由内向外朝所述基体倾斜的斜面。这样可以减小支撑体上表面高低不平带来的影响，提高钽酸锂单晶棒的加工质量。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	盐城市振弘电子材料厂
发明人：	徐国忠
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201820025552.1
公开号：	CN207789390U
分类号：	B28D7/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D7;B28D7/04
申请人地址：	224021 江苏省盐城市盐都区秦南镇灯塔村九组
主权项：	1.一种自排气钽酸锂单晶棒晶托，其特征在于：它包括基体（1）、一体设置于所述基体（1）任一表面中部的承料体（3）、一体设置于所述基体（1）表面上且围设于所述承料体（3）四周的多个支撑体（2）以及设置于所述承料体（3）上表面边缘的热敏胶圈（4），每个所述支撑体（2）和所述承料体（3）之间形成沟槽（5），所述热敏胶圈（4）上开设有缺口（41），所述支撑体（2）上表面为由内向外朝所述基体（1）倾斜的斜面（21）。
所属类别：	实用新型