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一种用于透明基底薄膜表界面力学特性测量的实验装置
| 专利名称： | 一种用于透明基底薄膜表界面力学特性测量的实验装置 |
| 摘要： | 一种用于透明基底薄膜表界面力学特性测量的实验装置，设置在中空式微位移单元上的用于加载被测薄膜的水平加载单元，位于水平加载单元上方的微悬臂梁测试单元，位于中空式微位移单元的下方用于采集图像数据的显微干涉测试单元，信号处理单元分别与微悬臂梁测试单元、水平加载单元、中空式微位移单元和显微干涉测试单元的信号输入输出端相连，用于对微悬臂梁测试单元的弹性系数进行标定和采集存储微悬臂梁测试单元的测试数据，控制水平加载单元对被测薄膜施加载荷，控制中空式微位移单元的移动使显微干涉测试单元能够在光学图像中选择合适的脱粘区域，并采集显微干涉测试单元获取的数据。本发明能够更精确地计算出界面能量释放率等薄膜与基底粘附特性信息。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津大学 |
| 发明人： | 傅星;张锐;吴森;宋云鹏;李纪楷;陈富强;胡小唐 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810028503.8 |
| 公开号： | CN108287220A |
| 代理机构： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 |
| 代理人： | 杜文茹 |
| 分类号： | G01N33/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N33;G01N33/00 |
| 申请人地址： | 300192 天津市南开区卫津路92号 |
| 主权项： | 1.一种用于透明基底薄膜表界面力学特性测量的实验装置，包括中空式微位移单元(1)，设置在所述中空式微位移单元(1)上的用于加载被测薄膜(6)的水平加载单元(2)，位于所述水平加载单元(2)上方用于对被测薄膜(6)进行力曲线测试的微悬臂梁测试单元(3)，以及位于所述中空式微位移单元(1)的下方用于采集被测薄膜(6)的图像数据的显微干涉测试单元(5)，其特征在于，还设置有信号处理单元(4)，所述信号处理单元(4)分别与所述的微悬臂梁测试单元(3)、水平加载单元(2)、中空式微位移单元(1)和显微干涉测试单元(5)的信号输入输出端相连，分别用于对微悬臂梁测试单元(3)的弹性系数进行标定和采集存储微悬臂梁测试单元(3)的测试数据，控制水平加载单元(2)对被测薄膜(6)施加载荷，控制中空式微位移单元(1)的移动使显微干涉测试单元(5)能够在光学图像中选择合适的脱粘区域，并采集显微干涉测试单元(5)获取的数据。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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