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一种应用于薄膜与透明基底之间的粘附特性测量方法
| 专利名称： | 一种应用于薄膜与透明基底之间的粘附特性测量方法 |
| 摘要： | 一种应用于薄膜与透明基底之间的粘附特性测量方法，是使用测量系统以微悬臂梁与显微干涉技术组合的方法实现原位高精度测量，对微悬臂梁弹性系数和显微干涉系统进行标定；由显微干涉系统观测并定位被测薄膜样品脱粘区域；由微悬臂梁的力曲线测量被测薄膜样品的塑性功，得到界面脱粘能；由微悬臂梁Z向位移测量被测薄膜样品的脱粘区域顶点的高度，并通过显微干涉系统测量的变形值对脱粘区域顶点的高度进行补偿；提高了薄膜与基底之间的粘附特性的测量精度，保证了测量的实效性和可靠性。本发明可以实现对薄膜与透明基底之间的粘附特性原位高精度测量，能够更精确地计算出界面能量释放率等薄膜与基底粘附特性信息，特别适用于薄膜与基底粘附特性的评价。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津大学 |
| 发明人： | 傅星;齐慧;宋云鹏;吴森;胡小唐 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810024657.X |
| 公开号： | CN108226032A |
| 代理机构： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 |
| 代理人： | 杜文茹 |
| 分类号： | G01N19/04(2006.01)I;G01N21/84(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N19;G01N21;G01N19/04;G01N21/84 |
| 申请人地址： | 300192 天津市南开区卫津路92号 |
| 主权项： | 1.一种应用于薄膜与透明基底之间的粘附特性测量方法，其特征在于，是使用测量系统以微悬臂梁与显微干涉技术组合的方法实现原位高精度测量，包括，对微悬臂梁弹性系数和显微干涉系统进行标定；由显微干涉系统观测并定位被测薄膜样品脱粘区域；由微悬臂梁的力曲线测量被测薄膜样品的塑性功，得到界面脱粘能；由微悬臂梁Z向位移测量被测薄膜样品的脱粘区域顶点的高度，并通过显微干涉系统测量的变形值对脱粘区域顶点的高度进行补偿；由显微图像测量薄膜脱粘区域的面积，最终由能量学模型计算界面能量释放率。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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