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原文传递智能氮氧传感器感应芯片

专利名称：	智能氮氧传感器感应芯片
摘要：	本发明涉及传感器感应芯片领域，尤其是智能氮氧传感器感应芯片。该感应芯片包括外电极、电极触点一、上层氧化锆基板、副泵内电极、主泵内电极、中层氧化锆基板、参比空气电极、测量泵内电极、电极触点二、底层氧化锆基板、绝缘包裹层、电极触点三、参比空气通道、第一测量腔、第二测量腔和加热线路，所述外电极、引线、电极触点一印刷在上层氧化锆基板的上端面；所述副泵内电极、主泵内电极、引线印刷在上层氧化锆基板的下端面；所述测量泵内电极和参比空气电极印刷在底层氧化锆基板的上端面；所述底层氧化锆基板上印刷有加热线路、电极触点三、两层绝缘包裹层。该发明使用三层氧化锆基板，其制备工序简单、生产效率高、稳定性好。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	常州联德电子有限公司
发明人：	冯江涛
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810270584.2
公开号：	CN108333243A
代理机构：	常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233
代理人：	沈毅
分类号：	G01N27/41(2006.01)I;G01N27/407(2006.01)I;G01N27/409(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/41;G01N27/407;G01N27/409
申请人地址：	213000 江苏省常州市西太湖科技产业园果香路56号
主权项：	1.一种智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，包括外电极（1）、电极触点一（2）、上层氧化锆基板（3）、副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、中层氧化锆基板（6）、参比空气电极（7）、测量泵内电极（8）、电极触点二（9）、底层氧化锆基板（10）、绝缘包裹层（11）、电极触点三（12）、参比空气通道（13）、第一测量腔（15）、第二测量腔（17）和加热线路（18），所述外电极（1）、引线、电极触点一（2）印刷在上层氧化锆基板（3）的上端面；所述副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、引线印刷在上层氧化锆基板（3）的下端面；所述副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、引线通过过孔与电极触点一（2）连接；所述测量泵内电极（8）和参比空气电极（7）印刷在底层氧化锆基板（10）的上端面；所述测量泵内电极（8）和参比空气电极（7）通过引线延伸至端头与两侧的电极触点二（9）连接；所述底层氧化锆基板（10）上印刷有加热线路（18）、电极触点三（12）、两层绝缘包裹层（11）；所述加热线路（18）包裹在两层绝缘包裹层（11）之间；所述电极触点三（12）裸露在外；所述中层氧化锆基板（6）通过冲切加工成第一测量腔（15）、第二测量腔（17）和参比空气通道（13）。
所属类别：	发明专利