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原文传递 智能氮氧传感器感应芯片
专利名称: 智能氮氧传感器感应芯片
摘要: 本发明涉及传感器感应芯片领域,尤其是智能氮氧传感器感应芯片。该感应芯片包括外电极、电极触点一、上层氧化锆基板、副泵内电极、主泵内电极、中层氧化锆基板、参比空气电极、测量泵内电极、电极触点二、底层氧化锆基板、绝缘包裹层、电极触点三、参比空气通道、第一测量腔、第二测量腔和加热线路,所述外电极、引线、电极触点一印刷在上层氧化锆基板的上端面;所述副泵内电极、主泵内电极、引线印刷在上层氧化锆基板的下端面;所述测量泵内电极和参比空气电极印刷在底层氧化锆基板的上端面;所述底层氧化锆基板上印刷有加热线路、电极触点三、两层绝缘包裹层。该发明使用三层氧化锆基板,其制备工序简单、生产效率高、稳定性好。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 常州联德电子有限公司
发明人: 冯江涛
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201810270584.2
公开号: CN108333243A
代理机构: 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233
代理人: 沈毅
分类号: G01N27/41(2006.01)I;G01N27/407(2006.01)I;G01N27/409(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/41;G01N27/407;G01N27/409
申请人地址: 213000 江苏省常州市西太湖科技产业园果香路56号
主权项: 1.一种智能氮氧传感器感应芯片,其特征是,包括外电极(1)、电极触点一(2)、上层氧化锆基板(3)、副泵内电极(4)、主泵内电极(5)、中层氧化锆基板(6)、参比空气电极(7)、测量泵内电极(8)、电极触点二(9)、底层氧化锆基板(10)、绝缘包裹层(11)、电极触点三(12)、参比空气通道(13)、第一测量腔(15)、第二测量腔(17)和加热线路(18),所述外电极(1)、引线、电极触点一(2)印刷在上层氧化锆基板(3)的上端面;所述副泵内电极(4)、主泵内电极(5)、引线印刷在上层氧化锆基板(3)的下端面;所述副泵内电极(4)、主泵内电极(5)、引线通过过孔与电极触点一(2)连接;所述测量泵内电极(8)和参比空气电极(7)印刷在底层氧化锆基板(10)的上端面;所述测量泵内电极(8)和参比空气电极(7)通过引线延伸至端头与两侧的电极触点二(9)连接;所述底层氧化锆基板(10)上印刷有加热线路(18)、电极触点三(12)、两层绝缘包裹层(11);所述加热线路(18)包裹在两层绝缘包裹层(11)之间;所述电极触点三(12)裸露在外;所述中层氧化锆基板(6)通过冲切加工成第一测量腔(15)、第二测量腔(17)和参比空气通道(13)。
所属类别: 发明专利
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