专利名称: |
尖端间距可调节的金属V型光栅Fano共振结构 |
摘要: |
本发明涉及一种尖端间距可调节的金属V型光栅Fano共振结构,该共振结构包括一层透明弹性基底和金属V型光栅。通过弯曲弹性基底实现了结构尖端的纳米级间距,极大地增强了尖端附近的局域场增强因子。这种尖端间距的可调节特性保证了制备过程中尖端间距的可靠性,有效保证了检测的高灵敏度和高精确度。结构的共振光场主要局域在狭缝尖端,场增强范围也由传统的纳米颗粒对的点延展到线。该共振结构的制备方法基于硅的各向异性腐蚀和金属薄膜的剥离技术,工艺简便,可靠性高,重复性好,便于应用。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
东南大学 |
发明人: |
吕昌贵;祁正青;史士鹏;钟嫄;崔一平 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810890195.X |
公开号: |
CN109001179A |
代理机构: |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人: |
柏尚春 |
分类号: |
G01N21/65(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G02B5/00(2006.01)I;G;G01;G02;G01N;G02B;G01N21;G02B5;G01N21/65;G01N21/01;G02B5/00 |
申请人地址: |
211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号 |
主权项: |
1.一种尖端间距可调节的金属V型光栅Fano共振结构,其特征在于:该共振结构从下而上依次包括光栅金属膜、光学透明弹性介质基底。 |
所属类别: |
发明专利 |