专利名称: |
一种测量Fano共振传感器检测极限的装置 |
摘要: |
本实用新型公开了一种测量Fano共振传感器检测极限的装置及方法,装置包括激光器、准直物镜、偏振器、传感器、检偏器、聚焦物镜和光谱仪,所述传感器包括耦合棱镜、Au膜、Cytop膜、TiO2膜和传感介质。相对于其它的偏振测量装置,本实用新型采用表面等离子体极化模式,以及在多层介质中形成的平面波导模式耦合产生Fano共振,进一步提升等离子体传感器的检测极限;用一个偏振器代替原来两个偏振器,结构更为简单,更重要的是,采用一种测量Fano共振传感器的方法分析反射光的偏振作用,用偏振函数取代传统的反射光强度检测,Fano共振传感器的检测极限有了显著地提高。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
湖北;42 |
申请人: |
中国地质大学(武汉) |
发明人: |
黄田野;赵翔 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-10-09T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-09-17T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201821635072.3 |
公开号: |
CN209400421U |
代理机构: |
武汉知产时代知识产权代理有限公司 |
代理人: |
龚春来 |
分类号: |
G01N21/552(2014.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: |
430000 湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号 |
主权项: |
1.一种测量Fano共振传感器检测极限的装置,其特征在于:所述测量Fano共振传感器检测极限的装置沿光传播方向上依次包括:激光器、准直物镜、偏振器、传感器、检偏器、聚焦物镜和光谱仪,所述传感器从下到上依次包括耦合棱镜、Au膜、Cytop膜、TiO2膜和传感介质; 所述激光器输出激光经所述准直物镜后输出平行光,所述平行光通过所述偏振器后得到椭圆偏振光,所述椭圆偏振光照射到所述传感器的所述耦合棱镜上,透过耦合棱镜入射面进入所述Au膜反射面并被反射,经耦合棱镜出射面后出射,由所述椭圆偏振光的p偏振与s偏振分量在所述传感器里产生相位差,同时在所述耦合棱镜和Au膜上激发表面等离子体共振模式,在所述Cytop膜、TiO2膜和传感介质激发平面波导模式,表面等离子体共振模式和平面波导模式耦合产生Fano共振光谱,包含所述Fano共振光谱的椭圆偏振光通过所述检偏器后经所述聚焦物镜聚焦,由所述光谱仪接收以进行分析处理。 2.根据权利要求1所述的测量Fano共振传感器检测极限的装置,其特征在于:所述耦合棱镜为SF10棱镜,所述激光器采用波长为632.8nm的He-Ne激光器。 3.根据权利要求1所述的测量Fano共振传感器检测极限的装置,其特征在于:所述Cytop膜的厚度为400-900nm,所述TiO2膜的厚度为60-130nm。 4.根据权利要求1所述的测量Fano共振传感器检测极限的装置,其特征在于:所述Au膜的厚度为50nm。 |
所属类别: |
实用新型 |