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一种基于Fano共振的蛋白质传感器及其制备方法
| 专利名称： | 一种基于Fano共振的蛋白质传感器及其制备方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于Fano共振的蛋白质传感器及其制备方法，所述的传感器结构从下到上包括棱镜、金属膜、YF3膜和AlN膜。本发明制备的传感器基于Fano共振模式，灵敏度高，速度快，同时结构简单，操作方便。本发明制备的传感器具有很高的灵敏度，灵敏度可达30°/RIU。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 山东;37 |
| 申请人： | 青岛科技大学 |
| 发明人： | 韩程章;王霞;赵秋玲 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-05-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-07-26T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910446789.6 |
| 公开号： | CN110057784A |
| 代理机构： | 青岛中天汇智知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 王丹丹 |
| 分类号： | G01N21/552(2014.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 266000 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
| 主权项： | 1.一种基于Fano共振的蛋白质传感器，其特征在于所述基于Fano共振的蛋白质传感器结构从下到上包括棱镜、金属膜、YF3膜和AlN膜。 2.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器，其特征在于所述的AlN膜位于传感器的最上层直接和待测介质样品接触。 3.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器，其特征在于所述的AlN膜厚度为50-200nm。 4.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器，其特征在于所述的YF3膜厚度为100-1000nm。 5.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器的制备方法，其特征在于按如下步骤进行： (1)将所述棱镜1依次用丙酮、无水乙醇、去离子水各自超声清洗3分钟，氮气吹干； (2)通过磁控溅射法或电子束沉积法在所述棱镜1上表面蒸镀金属膜2； (3)通过磁控溅射法或电子束沉积法在所述金属膜2上表面蒸镀YF3膜3； (4)通过磁控溅射法或电子束沉积法在所述YF3膜3上表面蒸镀AlN膜4。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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