专利名称: |
一种基于Fano共振的蛋白质传感器及其制备方法 |
摘要: |
本发明公开了一种基于Fano共振的蛋白质传感器及其制备方法,所述的传感器结构从下到上包括棱镜、金属膜、YF3膜和AlN膜。本发明制备的传感器基于Fano共振模式,灵敏度高,速度快,同时结构简单,操作方便。本发明制备的传感器具有很高的灵敏度,灵敏度可达30°/RIU。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
山东;37 |
申请人: |
青岛科技大学 |
发明人: |
韩程章;王霞;赵秋玲 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2019-05-27T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-07-26T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201910446789.6 |
公开号: |
CN110057784A |
代理机构: |
青岛中天汇智知识产权代理有限公司 |
代理人: |
王丹丹 |
分类号: |
G01N21/552(2014.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: |
266000 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
主权项: |
1.一种基于Fano共振的蛋白质传感器,其特征在于所述基于Fano共振的蛋白质传感器结构从下到上包括棱镜、金属膜、YF3膜和AlN膜。 2.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器,其特征在于所述的AlN膜位于传感器的最上层直接和待测介质样品接触。 3.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器,其特征在于所述的AlN膜厚度为50-200nm。 4.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器,其特征在于所述的YF3膜厚度为100-1000nm。 5.根据权利要求1所述的一种基于Fano共振的蛋白质传感器的制备方法,其特征在于按如下步骤进行: (1)将所述棱镜1依次用丙酮、无水乙醇、去离子水各自超声清洗3分钟,氮气吹干; (2)通过磁控溅射法或电子束沉积法在所述棱镜1上表面蒸镀金属膜2; (3)通过磁控溅射法或电子束沉积法在所述金属膜2上表面蒸镀YF3膜3; (4)通过磁控溅射法或电子束沉积法在所述YF3膜3上表面蒸镀AlN膜4。 |
所属类别: |
发明专利 |