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原文传递制备非导电性材料样品的方法

专利名称：	制备非导电性材料样品的方法
摘要：	本发明提供一种制备非导电性材料样品的方法，在样品表面镀膜后，在待观测区域作相应的减薄，此时，镶嵌材料表面是镀有导电材料的，在材料表面形成一个有效的电子通路，即在样品台和镶嵌材料表面有导电通路，使得后面的入射电子不能在材料表面会聚，而影响信号的收集。本发明所使用的方法简单、快速、有效的解决了现有的非导电性材料在SEM/EBSD检测过程中而产生的电子积聚，或者由于导电镀膜过厚而影响到信号(如背反射电子)的收集问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	胜科纳米（苏州）有限公司
发明人：	廖金枝;张兮;张南;华佑南;李晓旻
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810939776.8
公开号：	CN109001240A
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：	朱琳
分类号：	G01N23/2202(2018.01)I;G01N23/203(2006.01)I;G01N23/2005(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/2202;G01N23/203;G01N23/2005
申请人地址：	215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室
主权项：	1.一种制备非导电性材料样品的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：把非导电性材料镶嵌在透明镶嵌材料里；步骤二：把步骤一形成的样品进行表面镀膜，镀膜材料为金或铂或钯或碳或钨；步骤三：对步骤二形成的样品中待观测区域表面的镀膜材料减薄。
所属类别：	发明专利