专利名称: |
用于测量薄膜材料相变温度的装置及方法 |
摘要: |
本发明涉及一种用于测量薄膜材料相变温度的装置,包括衬底、电极、红外温度探测器、激光光源、多普勒探测器、飞秒脉冲激光光源;衬底用于铺设待测薄膜,电极置于待测薄膜上,红外温度探测器监测待测薄膜的温度;激光光源向待测薄膜表面斜射探测光,飞秒脉冲激光光源向同一入射点垂直射入飞秒激光脉冲,从而在薄膜内产生声波,使探测光在待测薄膜表面的反射光引起多普勒频移,多普勒探测器用于探测该反射光的多普勒频移信号。本发明测量装置及方法利用飞秒激光诱导薄膜产生声波,利用薄膜晶态和非晶态之间折射率的差异,反应声波在一定厚度薄膜内传播一个来回的时间差异,通过多普勒探测器探测反射光的多普勒频移信号,具有快速、无损测量的优点。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
湖北;42 |
申请人: |
武汉嘉仪通科技有限公司 |
发明人: |
缪向水;陈子琪;童浩;王愿兵;蔡颖锐 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810767504.4 |
公开号: |
CN109030414A |
代理机构: |
湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 |
代理人: |
许美红;王杰 |
分类号: |
G01N21/41(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/41 |
申请人地址: |
430075 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层 |
主权项: |
1.一种用于测量薄膜材料相变温度的装置,其特征在于,包括衬底、电极、红外温度探测器、激光光源、多普勒探测器、飞秒脉冲激光光源;所述衬底用于铺设待测薄膜,所述电极置于待测薄膜上,用于加热待测薄膜,红外温度探测器用于监测待测薄膜的温度;所述激光光源和多普勒探测器对称安装于待测薄膜的上方,所述激光光源向待测薄膜表面斜射探测光,所述飞秒脉冲激光光源向同一入射点垂直射入飞秒激光脉冲,从而在薄膜内产生声波,使探测光在待测薄膜表面的反射光引起多普勒频移,所述多普勒探测器用于探测该反射光的多普勒频移信号。 |
所属类别: |
发明专利 |