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用于测量薄膜材料相变温度的装置及方法
| 专利名称： | 用于测量薄膜材料相变温度的装置及方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量薄膜材料相变温度的装置，包括衬底、电极、红外温度探测器、激光光源、多普勒探测器、飞秒脉冲激光光源；衬底用于铺设待测薄膜，电极置于待测薄膜上，红外温度探测器监测待测薄膜的温度；激光光源向待测薄膜表面斜射探测光，飞秒脉冲激光光源向同一入射点垂直射入飞秒激光脉冲，从而在薄膜内产生声波，使探测光在待测薄膜表面的反射光引起多普勒频移，多普勒探测器用于探测该反射光的多普勒频移信号。本发明测量装置及方法利用飞秒激光诱导薄膜产生声波，利用薄膜晶态和非晶态之间折射率的差异，反应声波在一定厚度薄膜内传播一个来回的时间差异，通过多普勒探测器探测反射光的多普勒频移信号，具有快速、无损测量的优点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 武汉嘉仪通科技有限公司 |
| 发明人： | 缪向水;陈子琪;童浩;王愿兵;蔡颖锐 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810767504.4 |
| 公开号： | CN109030414A |
| 代理机构： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 |
| 代理人： | 许美红;王杰 |
| 分类号： | G01N21/41(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/41 |
| 申请人地址： | 430075 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层 |
| 主权项： | 1.一种用于测量薄膜材料相变温度的装置，其特征在于，包括衬底、电极、红外温度探测器、激光光源、多普勒探测器、飞秒脉冲激光光源；所述衬底用于铺设待测薄膜，所述电极置于待测薄膜上，用于加热待测薄膜，红外温度探测器用于监测待测薄膜的温度；所述激光光源和多普勒探测器对称安装于待测薄膜的上方，所述激光光源向待测薄膜表面斜射探测光，所述飞秒脉冲激光光源向同一入射点垂直射入飞秒激光脉冲，从而在薄膜内产生声波，使探测光在待测薄膜表面的反射光引起多普勒频移，所述多普勒探测器用于探测该反射光的多普勒频移信号。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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