专利名称: |
一种薄膜材料相变温度测量装置及方法 |
摘要: |
本发明涉及一种薄膜材料相变温度测量装置,包括衬底、电极阵列、探测光光源、信号探测装置、红外测温装置和计算机;衬底为不透光衬底,电极阵列置于衬底上,待测薄膜覆盖于电极阵列的表面,探测光光源向待测薄膜表面发射探测光,在探测光光斑落点平面内,电极阵列在至少一个方向呈现周期性结构,探测光的入射方向与电极的周期性变化方向相同;信号探测装置获取经电极阵列衍射的探测光信号,传输至计算机;电极阵列的一端接电源正极、另一端接电源负极,通电后能够为待测薄膜加热,红外测温装置安装于待测薄膜上方监测待测薄膜的温度,传输至计算机。本发明装置及方法基于光学衍射,能够准确、快速地测量薄膜相变温度,具有快速、无损测量的特点。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
湖北;42 |
申请人: |
武汉嘉仪通科技有限公司 |
发明人: |
缪向水;陈子琪;童浩;王愿兵;蔡颖锐 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810767563.1 |
公开号: |
CN109001160A |
代理机构: |
湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 |
代理人: |
许美红;王杰 |
分类号: |
G01N21/41(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/41 |
申请人地址: |
430075 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层 |
主权项: |
1.一种薄膜材料相变温度测量装置,其特征在于,包括衬底、电极阵列、探测光光源、信号探测装置、红外测温装置和计算机;所述衬底为不透光衬底,所述电极阵列置于所述衬底上,待测薄膜覆盖于所述电极阵列的表面,且沉淀均匀,所述探测光光源用于向所述待测薄膜表面发射探测光,在探测光光斑落点平面内,电极阵列在至少一个方向呈现周期性结构,探测光的入射方向与电极的周期性变化方向相同;所述信号探测装置用于获取经所述电极阵列衍射的探测光信号,并将信号传输至所述计算机;所述电极阵列的一端接电源正极、另一端接电源负极,通电后能够为待测薄膜加热,所述红外测温装置安装于所述待测薄膜上方,用于监测待测薄膜的温度,并将信号传输至所述计算机。 |
所属类别: |
发明专利 |