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一种薄膜材料相变温度测量装置及方法
| 专利名称： | 一种薄膜材料相变温度测量装置及方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜材料相变温度测量装置，包括衬底、电极阵列、探测光光源、信号探测装置、红外测温装置和计算机；衬底为不透光衬底，电极阵列置于衬底上，待测薄膜覆盖于电极阵列的表面，探测光光源向待测薄膜表面发射探测光，在探测光光斑落点平面内，电极阵列在至少一个方向呈现周期性结构，探测光的入射方向与电极的周期性变化方向相同；信号探测装置获取经电极阵列衍射的探测光信号，传输至计算机；电极阵列的一端接电源正极、另一端接电源负极，通电后能够为待测薄膜加热，红外测温装置安装于待测薄膜上方监测待测薄膜的温度，传输至计算机。本发明装置及方法基于光学衍射，能够准确、快速地测量薄膜相变温度，具有快速、无损测量的特点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 武汉嘉仪通科技有限公司 |
| 发明人： | 缪向水;陈子琪;童浩;王愿兵;蔡颖锐 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810767563.1 |
| 公开号： | CN109001160A |
| 代理机构： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 |
| 代理人： | 许美红;王杰 |
| 分类号： | G01N21/41(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/41 |
| 申请人地址： | 430075 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城起步区A5北4号楼11层 |
| 主权项： | 1.一种薄膜材料相变温度测量装置，其特征在于，包括衬底、电极阵列、探测光光源、信号探测装置、红外测温装置和计算机；所述衬底为不透光衬底，所述电极阵列置于所述衬底上，待测薄膜覆盖于所述电极阵列的表面，且沉淀均匀，所述探测光光源用于向所述待测薄膜表面发射探测光，在探测光光斑落点平面内，电极阵列在至少一个方向呈现周期性结构，探测光的入射方向与电极的周期性变化方向相同；所述信号探测装置用于获取经所述电极阵列衍射的探测光信号，并将信号传输至所述计算机；所述电极阵列的一端接电源正极、另一端接电源负极，通电后能够为待测薄膜加热，所述红外测温装置安装于所述待测薄膜上方，用于监测待测薄膜的温度，并将信号传输至所述计算机。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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