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原文传递一种晶圆流片生产用加工装置

专利名称：	一种晶圆流片生产用加工装置
摘要：	本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用加工装置，其可对两组切割器输出端间的距离进行调整，以便对能切割出来的晶圆流片的直径进行调整，提高适应能力；同时可对切割器输出端与放置架间的距离进行调整，以便能切割多种厚度的晶圆流片，降低使用局限性；且增强晶圆流片在放置架上的稳固性，提高切割效果，增强使用性；同时增强切割过程中位于工作台前侧的工作人员的保护效果，提高使用可靠性；包括工作台、支架、伺服电机、两组安装座、两组切割器和放置架；还包括后支板、左测量件、左测量尺、右测量件和右量尺寸；放置架包括下伸缩电机和放置板；还包括固定件；还包括支撑件和透明防护板。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏英锐半导体有限公司
发明人：	王昌华
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201811060257.0
公开号：	CN109016195A
代理机构：	常州市权航专利代理有限公司 32280
代理人：	袁兴隆
分类号：	B28D5/02(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;B;H;B28;H01;B28D;H01L;B28D5;B28D7;H01L21;B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67
申请人地址：	224002 江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房
主权项：	1.一种晶圆流片生产用加工装置，包括工作台（1）、支架（2）、伺服电机（3）、两组安装座（4）、两组切割器（5）和放置架，支架设置在工作台顶端，伺服电机设置在支架顶端，伺服电机的底部输出端上设置有转动轴（6），并在转动轴上设置有连接架，两组切割器分别设置在两组安装座底端，且两组切割器输出端均冲下，放置架设置在工作台顶端；其特征在于，还包括后支板（7）、左测量件（8）、左测量尺（9）、右测量件和右量尺寸（10），所述连接架包括连接块（11）、左电动伸缩杆（12）和右电动伸缩杆，连接块设置在转动轴底端，所述左电动伸缩杆和右电动伸缩杆分别设置在连接块左右两端上，两组安装座分别设置在左电动伸缩杆和右电动伸缩杆输出端上，所述支板设置在支架内顶壁后侧，左测量尺和右量尺寸分别设置在支板前端左上区域和右上区域上，所述左测量件和右测量件分别设置在支架左右两侧上，且左测量件和右测量件输出端分别与左测量尺和右量尺寸接触；所述放置架包括下伸缩电机（13）和放置板（14），工作台顶端设置有安装槽，下伸缩电机设置在安装槽内，所述下伸缩电机的顶部输出端上设置有下驱动杆，放置板设置在下驱动杆顶端；还包括固定件（15），所述固定件设置在连接块底端，且固定件位于放置板正上方；还包括支撑件和透明防护板（16），所述工作台顶端前侧设置有放置槽，支撑件设置在放置槽内，所述透明防护板设置在支撑件顶端，且透明防护板位于放置架前侧。
所属类别：	发明专利