详情

原文传递一种用于晶圆流片制造的切段装置

专利名称：	一种用于晶圆流片制造的切段装置
摘要：	本实用新型涉及晶圆流片制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片制造的切段装置，其可以方便将单晶硅棒按照要求切割成规定长度的单晶硅段，降低使用局限性；并且可以方便控制切割刀移动的方向，减少切割偏移的现象，减少资源浪费，提高使用可靠性；包括工作台、四组支腿、切割刀和两组刀柄；还包括左弧形连接板、右弧形连接板、四组限位螺纹杆、支撑板和四组固定螺母，工作台包括上平台和下平台，还包括压板、四组固定弹簧和缓冲垫；还包括前调节螺纹杆、后调节螺纹杆、两组前齿轮、两组后齿轮、两组传动齿轮、两组固定杆和两组固定球，两组刀柄上分别设置有两组移动环。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏英锐半导体有限公司
发明人：	王昌华
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201821687847.1
公开号：	CN209492015U
代理机构：	常州市权航专利代理有限公司
代理人：	袁兴隆
分类号：	B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房
主权项：	1.一种用于晶圆流片制造的切段装置，包括工作台、四组支腿（1）、切割刀（2）和两组刀柄（3），两组刀柄（3）分别安装在切割刀（2）前端和后端；其特征在于，还包括左弧形连接板（4）、右弧形连接板、四组限位螺纹杆（5）、支撑板（6）和四组固定螺母（7），所述工作台包括上平台（8）和下平台，所述左弧形连接板（4）和右弧形连接板两端分别与上平台（8）和下平台左端和右端连接，所述四组支腿（1）顶端分别与下平台底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述四组限位螺纹杆（5）顶端分别与下平台底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述支撑板（6）左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组通孔，所述四组限位螺纹杆（5）底端分别穿过四组通孔，所述四组固定螺母（7）分别螺装至四组限位螺纹杆（5）上，所述上平台（8）和下平台上分别设置有多组上穿孔和多组下穿孔，还包括压板（9）、四组固定弹簧（10）和缓冲垫（11），所述四组固定弹簧（10）顶端和底端分别与压板（9）底部和上平台（8）顶部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述缓冲垫（11）安装在压板（9）底部；还包括前调节螺纹杆（12）、后调节螺纹杆、两组前齿轮（13）、两组后齿轮、两组传动齿轮（14）、两组固定杆（15）和两组固定球（16），所述左弧形连接板（4）和右弧形连接板前半区域和后半区域分别设置有两组左连接孔和两组右连接孔，所述前调节螺纹杆（12）和后调节螺纹杆左端和右端分别穿过两组左连接孔和两组右连接孔，所述两组前齿轮（13）和两组后齿轮分别安装在前调节螺纹杆（12）和后调节螺纹杆左端和右端，所述左弧形连接板（4）和右弧形连接板中央区域分别设置有两组固定孔，所述两组固定杆（15）一端分别与两组传动齿轮（14）中央区域连接，并且两组固定杆（15）另一端分别穿过两组固定孔并与两组固定球（16）连接，所述两组传动齿轮（14）分别与两组前齿轮（13）和两组后齿轮啮合，所述两组前齿轮（13）和两组后齿轮上分别设置有两组前旋转把手（17）和两组后旋转把手，所述两组刀柄（3）上分别设置有两组移动环（18），所述两组移动环（18）上分别设置有与前调节螺纹杆（12）和后调节螺纹杆相对应的内螺纹，所述前调节螺纹杆（12）和后调节螺纹杆分别螺装通过两组移动环（18），所述切割刀（2）位于上平台（8）和下平台之间。 2.如权利要求1所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括两组左拉绳、两组右拉绳（19）、两组固定板（20）和卷轴（21），所述压板（9）左半区域和右半区域分别设置有两组左抽拉孔和两组右抽拉孔，所述两组左拉绳和两组右拉绳（19）一端分别穿过两组左抽拉孔和两组右抽拉孔并与上台面顶部连接，所述两组固定板（20）分别安装在压板（9）顶部前半区域和后半区域，并在两组固定板（20）上分别设置有两组圆孔，所述卷轴（21）前端和后端分别穿过两组圆孔，并在卷轴（21）前端和后端分别设置有两组旋转板（31），所述两组旋转板（31）底部分别设置有两组转动把手（22），所述两组左拉绳和两组右拉绳（19）另一端均缠绕固定在卷轴（21）上。 3.如权利要求2所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括多组第一滚珠（23），所述两组左连接孔、两组右连接孔和两组固定孔内侧壁上分别设置有多组第一弧形槽，所述多组第一滚珠（23）分别位于多组第一弧形槽内，并且多组第一滚珠（23）分别与前调节螺纹杆（12）、后调节螺纹杆和两组固定杆（15）外壁接触。 4.如权利要求3所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括连接齿轮（24）、连接轴（25）和挡块（26），所述支撑板（6）中央区域设置有连接孔，所述连接轴（25）顶端穿过连接孔并与挡块（26）底部中央区域连接，所述连接齿轮（24）安装在连接轴（25）底端，所述四组固定螺母（7）外壁上均设置有与连接齿轮（24）相对应的齿纹，并且四组固定螺母（7）均与连接齿轮（24）啮合。 5.如权利要求4所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括多组第二滚珠（27），所述挡块（26）底部和连接孔处内侧壁上分别设置有多组第二弧形槽，所述多组第二滚珠（27）分别位于多组第二弧形槽内，并且多组第二滚珠（27）分别与支撑板（6）顶部和连接轴（25）外壁接触。 6.如权利要求5所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括多组防滑垫（28），所述多组防滑垫（28）分别安装在多组上穿孔和多组下穿孔内侧壁上。 7.如权利要求6所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括四组挡板（29），所述四组挡板（29）分别安装在四组限位螺纹杆（5）底端。 8.如权利要求7所述的一种用于晶圆流片制造的切段装置，其特征在于，还包括两组左保护垫和两组右保护垫（30），所述两组左保护垫和两组右保护垫（30）分别安装在两组左抽拉孔和两组右抽拉孔内侧壁上，并且两组左保护垫和两组右保护垫（30）分别与两组左拉绳和两组右拉绳（19）接触。
所属类别：	实用新型