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原文传递一种晶圆流片生产用加工装置

专利名称：	一种晶圆流片生产用加工装置
摘要：	本实用新型涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用加工装置，其可对两组切割器输出端间的距离进行调整，以便对能切割出来的晶圆流片的直径进行调整，提高适应能力；同时可对切割器输出端与放置架间的距离进行调整，以便能切割多种厚度的晶圆流片，降低使用局限性；且增强晶圆流片在放置架上的稳固性，提高切割效果，增强使用性；同时增强切割过程中位于工作台前侧的工作人员的保护效果，提高使用可靠性；包括工作台、支架、伺服电机、两组安装座、两组切割器和放置架；还包括后支板、左测量件、左测量尺、右测量件和右量尺寸；放置架包括下伸缩电机和放置板；还包括固定件；还包括支撑件和透明防护板。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏英锐半导体有限公司
发明人：	王昌华
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201821494768.9
公开号：	CN209492016U
代理机构：	常州市权航专利代理有限公司
代理人：	袁兴隆
分类号：	B28D5/02(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	224002 江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房
主权项：	1.一种晶圆流片生产用加工装置，包括工作台（1）、支架（2）、伺服电机（3）、两组安装座（4）、两组切割器（5）和放置架，支架设置在工作台顶端，伺服电机设置在支架顶端，伺服电机的底部输出端上设置有转动轴（6），并在转动轴上设置有连接架，两组切割器分别设置在两组安装座底端，且两组切割器输出端均冲下，放置架设置在工作台顶端；其特征在于，还包括后支板（7）、左测量件（8）、左测量尺（9）、右测量件和右量尺寸（10），所述连接架包括连接块（11）、左电动伸缩杆（12）和右电动伸缩杆，连接块设置在转动轴底端，所述左电动伸缩杆和右电动伸缩杆分别设置在连接块左右两端上，两组安装座分别设置在左电动伸缩杆和右电动伸缩杆输出端上，所述支板设置在支架内顶壁后侧，左测量尺和右量尺寸分别设置在支板前端左上区域和右上区域上，所述左测量件和右测量件分别设置在支架左右两侧上，且左测量件和右测量件输出端分别与左测量尺和右量尺寸接触；所述放置架包括下伸缩电机（13）和放置板（14），工作台顶端设置有安装槽，下伸缩电机设置在安装槽内，所述下伸缩电机的顶部输出端上设置有下驱动杆，放置板设置在下驱动杆顶端；还包括固定件（15），所述固定件设置在连接块底端，且固定件位于放置板正上方；还包括支撑件和透明防护板（16），所述工作台顶端前侧设置有放置槽，支撑件设置在放置槽内，所述透明防护板设置在支撑件顶端，且透明防护板位于放置架前侧。 2.如权利要求1所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，所述左测量件包括左支板、左伸缩电机（17）和左测量板（18），右测量件包括右支板（19）、右伸缩电机和右测量板，所述左支板设置在支架内底壁左侧，左伸缩电机设置在左支板上，所述左伸缩电机的右部输出端上设置有左驱动杆，左测量板位于左支板右侧，且左驱动杆右端穿过左支板并与左测量板左端连接，所述右支板设置在支架内底壁右侧，右伸缩电机设置在右支板上，所述右伸缩电机的左部输出端上设置有右驱动杆（20），右测量板位于右支板左侧，且右驱动杆左端穿过右支板并与右测量板右端连接。 3.如权利要求2所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，所述固定件包括调节件、滚珠轴承（21）和固定板（22），所述连接块底端设置有固定槽，滚珠轴承设置在固定槽内，所述调节件顶端插入至滚珠轴承内部，固定板设置在调节件底端。 4.如权利要求3所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，所述调节件包括螺纹管（23）和螺纹杆（24），所述螺纹管顶端插入至滚珠轴承内部，螺纹杆顶端插入并螺装在螺纹管顶端内部，且所述螺纹杆底端与固定板顶端连接。 5.如权利要求4所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，所述支撑件包括两组下电动伸缩杆（25），所述两组下电动伸缩杆分别设置在放置槽内底壁左半区域和右半区域上，透明防护板底端插入至放置槽内，且透明防护板底端左半区域和右半区域分别与两组下电动伸缩杆输出端连接。 6.如权利要求5所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括左参照板和右参照板（26），所述左参照板和右参照板分别设置在两组固定座顶端，且左参照板和右参照板分别位于左测量尺和右测量尺前侧，左参照板左端和右参照板右端分别与两组切割器输出端位于同一水平线上。 7.如权利要求6所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括限位环（27），所述螺纹管上半区域外侧壁上设置有环形凹槽，限位环套装在环形凹槽上，且所述限位环顶端外侧与连接块底端外侧连接。 8.如权利要求7所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括两组上支撑架（28）和两组下支撑架（29），所述两组上支撑架分别设置在连接块左端下侧和右端下侧上，且两组上支撑架顶端分别与左电动伸缩杆和右电动伸缩杆底端连接，所述两组下支撑架分别设置在左支板左端下侧和右支板右端下侧上，且两组下支撑架顶端分别与左伸缩电机和右伸缩电机底端连接。 9.如权利要求8所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括防滑板（30），所述防滑板设置在固定板底端。 10.如权利要求9所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括两组把手（31），所述两组把手分别设置在固定板顶端左右两侧上。
所属类别：	实用新型