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用于GDMS检测的高纯钨样品及其制备方法
| 专利名称： | 用于GDMS检测的高纯钨样品及其制备方法 |
| 摘要： | 一种用于GDMS检测的高纯钨样品及其制备方法，涉及高纯钨检测技术领域，其为圆形片状样品，包括80－90％的高纯钨与10－20％的碳粉。其制备方法包括将高纯钨与所述碳粉压制成型得到用于GDMS检测的高纯钨样品。使用高纯碳粉作为粘结剂，使高纯钨粉在高压下压制成块状，然后用于GDMS检测，检测过程溅射稳定，检测结果稳定，可重复性强。而且取样量大，取样更具代表性，检测结果更可靠而且石墨粉的价格远小于铟的价格，使检测成本明显降低。将制得的用于GDMS检测的高纯钨样品进行溅射靶材测试，测试结果表明本发明制备得到的高纯钨样品可以持续稳定溅射3.0h以上。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 发明人： | 姚力军;潘杰;王学泽;王志愿 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810553069.5 |
| 公开号： | CN108680411A |
| 代理机构： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 |
| 代理人： | 孙海杰 |
| 分类号： | G01N1/28(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N1;G01N1/28 |
| 申请人地址： | 315000 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 |
| 主权项： | 1.一种用于GDMS检测的高纯钨样品，其特征在于，包括：圆形片状样品，其包括80－90％的高纯钨与10－20％的碳粉。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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