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原文传递 用于GDMS检测的钛晶样品制备方法及钛晶样品
专利名称: 用于GDMS检测的钛晶样品制备方法及钛晶样品
摘要: 一种用于GDMS检测的钛晶样品制备方法及钛晶样品,其中,钛晶样品制备方法包括提供多片钛晶;提供基底,将多片所述钛晶固定设置于所述基底。通过将多片钛晶固定设置于基底形成钛晶样品,使得一个钛晶样品同时具有多片钛晶,相较于单片钛晶,质量更大、代表性更好,更能够反映该批次钛晶整体的纯度。另外,若钛晶样品上的多片钛晶选自电解过程中不同时间段上生成的钛晶,则能够在较大程度上消除因时间段不同而导致的不同钛晶之间纯度差异,进一步能使钛晶样品更好的反映该批次钛晶整体的纯度。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 浙江;33
申请人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人: 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;陈胜洁;喻洁
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201710426777.8
公开号: CN109030130A
代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人: 张亚利;吴敏
分类号: G01N1/28(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N1;G01N1/28
申请人地址: 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
主权项: 1.一种用于GDMS检测的钛晶样品制备方法,其特征在于,包括:提供多片钛晶;提供基底,将多片所述钛晶固定设置于所述基底。
所属类别: 发明专利
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