专利名称: |
一种WS2/石墨烯复合气凝胶气体传感器的制备方法 |
摘要: |
本发明公开了一种WS2/石墨烯复合气凝胶气体传感器的制备方法,本发明首先制备高结晶性石墨烯气凝胶,再制备WS2/石墨烯复合气凝胶,接着制备WS2/石墨烯复合气凝胶悬浮液,令WS2/石墨烯复合气凝胶连接两个传感电极,最后采用引线键合技术,将传感电极芯片通过电路连线到封装基板上,制作成传感器件。本发明制备的WS2/石墨烯复合气凝胶既维持了二维材料的层状特性,又具有大量的交叉孔洞,使其集成到器件后仍具有超高的有效比表面积;本发明制备的WS2/石墨烯复合气凝胶气体传感器在不同温度、不同湿度下均具有良好的气敏性能。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
浙江;33 |
申请人: |
杭州电子科技大学 |
发明人: |
闫文君 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810614489.X |
公开号: |
CN108680605A |
代理机构: |
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 |
代理人: |
朱月芬 |
分类号: |
G01N27/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27;G01N27/00 |
申请人地址: |
310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街 |
主权项: |
1.一种WS2/石墨烯复合气凝胶气体传感器的制备方法,其特征在于,该方法具体包括以下步骤:步骤一:制备高结晶性石墨烯气凝胶;将石墨烯气凝胶在He气氛中1500-2000℃热处理1‑2h,得到高结晶性石墨烯气凝胶;步骤二:制备WS2/石墨烯复合气凝胶;将高结晶性石墨烯气凝胶分散到0.8‑1mol/L的(NH4)2(WS4)溶液中,将该混合溶液置于液氮中冷冻,冷冻干燥形成(NH4)2(WS4)修饰的石墨烯气凝胶;将(NH4)2(WS4)修饰的石墨烯气凝胶置于管式炉中,在H2/Ar混合气氛中700-750℃热处理2-4h,即得到WS2/石墨烯复合气凝胶;步骤三:WS2/石墨烯复合气凝胶悬浮液的制备;将WS2/石墨烯复合气凝胶分散于异丙醇水溶液中,超声振荡至气凝胶在异丙醇水溶液中分散均匀;得到质量浓度为0.5mg/ml的WS2/石墨烯复合气凝胶异丙醇悬浮液;其中异丙醇水溶液中异丙醇与水的体积比为1:8‑1:10;步骤四:将传感电极芯片置于80-100℃加热板上,用移液枪将复合气凝胶的异丙醇溶液滴涂到传感电极之间,令WS2/石墨烯复合气凝胶连接两个传感电极;加热2-3个小时使溶液挥发完,复合气凝胶敏感材料沉积到电极芯片连通传感电极;步骤五:采用引线键合技术,将传感电极芯片通过电路连线到封装基板上,制作成传感器件。 |
所属类别: |
发明专利 |