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基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置及方法
| 专利名称： | 基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置及方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置，用于检测待测元件的波前信息，包括沿光路的走向依次排布的同步辐射光源、单色器、散射体和探测器，单色器和散射体之间为一待测元件安装位置。此外，本发明还提供了两种采用该基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置的基于同步辐射光源的X射线散斑检测方法。本发明的基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置结合激光散斑检测与同步辐射X射线传播的理论方法，实现对光学元件的在线检测功能；此外，该装置将待测元件设置于散射体与单色器之间，使得该装置在适用于小型待测元件的在线检测同时，还可适用于不可移动的大型反射镜面的在线检测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 发明人： | 薛莲;李中亮;罗红心;王劼 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810292831.9 |
| 公开号： | CN108693203A |
| 代理机构： | 上海智信专利代理有限公司 31002 |
| 代理人： | 邓琪 |
| 分类号： | G01N23/22(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23;G01N23/22 |
| 申请人地址： | 201800 上海市嘉定区嘉罗公路2019号 |
| 主权项： | 1.一种基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置，用于检测待测元件(3)的波前信息，其特征在于，其包括沿光路的走向依次排布的同步辐射光源(1)、单色器(2)、散射体(4)和探测器(5)，所述单色器(2)和散射体(4)之间为一待测元件安装位置。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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