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原文传递加工方法

专利名称：	加工方法
摘要：	本发明提供一种加工方法，该加工方法在对与切断预定线重叠地形成有包含金属的层叠体的板状的被加工物进行加工时，能够在维持加工品质的同时提高加工速度。该加工方法对板状的被加工物进行加工，该板状的被加工物在背面侧形成有包含金属的层叠体，该加工方法包括下述步骤：保持步骤，利用保持工作台对被加工物的表面侧进行保持，使层叠体露出；切削步骤，在实施保持步骤后，利用切削刀具沿着切断预定线对被加工物进行切削，形成分割层叠体的切削槽；和激光加工步骤，在实施切削步骤后，沿着切削槽照射激光束，在切削步骤中，一边对被加工物供给包含有机酸和氧化剂的切削液，一边执行切削。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社迪思科
发明人：	竹之内研二
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810261942.3
公开号：	CN108687978A
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：	庞东成;褚瑶杨
分类号：	B28D5/02(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B23K26/38(2014.01)I;B23K26/60(2014.01)I;H01L21/304(2006.01)I;B;H;B28;B23;H01;B28D;B23K;H01L;B28D5;B28D7;B23K26;H01L21;B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;B23K26/38;B23K26/60;H01L21/304
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种加工方法，该加工方法对板状的被加工物进行加工，该板状的被加工物在背面侧形成有包含金属的层叠体，该加工方法的特征在于，该加工方法具备下述步骤：保持步骤，利用保持工作台对被加工物的表面侧进行保持，使该层叠体露出；切削步骤，在实施该保持步骤后，利用切削刀具沿着切断预定线对被加工物进行切削，形成分割该层叠体的切削槽；和激光加工步骤，在实施该切削步骤后，沿着该切削槽照射激光束，在该切削步骤中，一边对被加工物供给包含有机酸和氧化剂的切削液，一边执行切削。
所属类别：	发明专利