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红外透射式离轴数字全息显微测量系统
| 专利名称： | 红外透射式离轴数字全息显微测量系统 |
| 摘要： | 本发明公开了一种红外透射式离轴数字全息显微测量系统，包括：红外激光光源、中灰镜、第一红外反射镜、第二红外反射镜和CCD，在红外激光光源发射的红外光的光路上先后依次固装有一中灰镜和第一红外分光棱镜，第一红外反射镜固装在水平光束的光路上，在第一光路上先后依次固装有一第一物镜和第二红外分光棱镜；第二红外反射镜安装在垂直光束的光路上，在第二光路上先后依次固装有一样品池和第二物镜，从第二物镜出射的光经过第二红外分光棱镜后得到的透射光为物光；物光与参考光之间的夹角为θ，θ＝0～10°。本发明红外透射式离轴数字全息显微测量系统不仅可以对元器件的表面形貌进行测量，也能够对其内部结构进行表述。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 天津;12 |
| 申请人： | 天津大学 |
| 发明人： | 卢钧胜;曾雅楠;金磊;胡晓东 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810969372.3 |
| 公开号： | CN109085139A |
| 代理机构： | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 |
| 代理人： | 田阳;李蕊 |
| 分类号： | G01N21/45(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G;G01;G01N;G01B;G01N21;G01B11;G01N21/45;G01B11/24 |
| 申请人地址： | 300072 天津市南开区卫津路92号 |
| 主权项： | 1.一种红外透射式离轴数字全息显微测量系统，其特征在于，包括：红外激光光源(1)、中灰镜(2)、第一红外反射镜(7)、第二红外反射镜(4)和CCD(10)，在所述红外激光光源(1)发射的红外光的光路上先后依次固装有一中灰镜(2)和第一红外分光棱镜(3)，以使所述红外光在通过所述中灰镜(2)后被所述第一红外分光棱镜(3)分成相干的水平光束和垂直光束，所述第一红外反射镜(7)固装在所述水平光束的光路上，用于将所述水平光束反射90°并形成第一光路，在所述第一光路上先后依次固装有一第一物镜(8)和第二红外分光棱镜(9)，以使所述第一光路被所述第一物镜(8)放大后射入所述第二红外分光棱镜(9)并被第二红外分光棱镜(9)分光反射后得到参考光；所述第二红外反射镜(4)安装在所述垂直光束的光路上，用于将所述垂直光束反射90°并形成第二光路，在所述第二光路上先后依次固装有一样品池(5)和第二物镜(6)，以使穿过所述样品池(5)后的第二光路被所述第二物镜(6)放大，从所述第二物镜(6)出射的光经过第二红外分光棱镜(9)后得到的透射光为物光；所述物光与所述参考光之间的夹角为θ，θ＝0～10°，所述CCD(10)用于接收所述物光和参考光干涉后的光强。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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