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原文传递晶棒定向检测系统

专利名称：	晶棒定向检测系统
摘要：	本发明涉及晶体加工技术领域，具体地说是一种晶棒定向检测系统，包括移动机构、旋转机构、支承板、X光发生组件和信号系统组件，旋转机构安装于所述移动机构上并通过所述移动机构驱动移动，支承板安装于所述旋转机构前端并通过所述旋转机构驱动旋转，在所述支承板上设有定位探针、X光发生组件、信号系统组件、第一调整机构和第二调整机构，且检测时所述定位探针与晶棒相抵，所述X光发生组件通过第一调整机构驱动做圆弧运动，所述信号系统组件通过第二调整机构驱动做圆弧运动。本发明能够精确检测晶棒的角度信息，大大提高了晶棒角度检测精度和检测效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	丹东新东方晶体仪器有限公司
发明人：	甄伟;赵松彬
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810794228.0
公开号：	CN108760780A
代理机构：	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人：	汪海
分类号：	G01N23/20(2018.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G;H;G01;H01;G01N;H01L;G01N23;H01L21;G01N23/20;H01L21/66
申请人地址：	118000 辽宁省沈阳市高新技术产业开发区A-050号
主权项：	1.一种晶棒定向检测系统，其特征在于：包括移动机构(1)、旋转机构(2)、支承板(3)、X光发生组件(5)和信号系统组件(6)，旋转机构(2)安装于所述移动机构(1)上并通过所述移动机构(1)驱动移动，支承板(3)安装于所述旋转机构(2)前端并通过所述旋转机构(2)驱动旋转，在所述支承板(3)上设有定位探针(301)、X光发生组件(5)、信号系统组件(6)、第一调整机构和第二调整机构，且检测时所述定位探针(301)与晶棒(4)相抵，所述X光发生组件(5)通过第一调整机构驱动做圆弧运动，所述信号系统组件(6)通过第二调整机构驱动做圆弧运动。
所属类别：	发明专利