专利名称: |
晶棒切割机的晶棒夹持结构及晶棒切割机 |
摘要: |
本实用新型提供一种晶棒切割机的晶棒夹持结构及晶棒切割机,晶棒夹持结构包括:晶棒支撑柱,设置于机体,晶棒支撑柱的一端设有承载台;承载座,位于承载台,与晶棒支撑柱垂直,承载座的边缘区域具有承载槽;支撑架,设置于承载台;丝杆,支撑架上具有第一螺孔,丝杆的一端可转动地穿设在第一螺孔中,丝杆垂直于承载座;限位件,设置于丝杆的一端,限位件位于承载座的上方,限位件靠近承载座的一侧与承载槽相对的区域具有限位槽;在垂直于承载座的方向上限位件与承载座之间的间距可调节,在丝杆转动的情况下,丝杆带动限位件沿着靠近或远离承载座的方向移动。本实用新型避免了胶体残余问题,有利于实现高效率的晶棒切割。 |
专利类型: |
实用新型 |
申请人: |
新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司 |
发明人: |
陈小龙;曹森;李立峰;骆新龙;巴剑锋;石志强;杨欣;李云 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2023-06-07T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2023-11-28T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN202321436610.7 |
公开号: |
CN220095102U |
代理机构: |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人: |
邢悦 |
分类号: |
B28D7/04;B;B28;B28D;B28D7;B28D7/04 |
申请人地址: |
831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业园)众欣街2249号; |
主权项: |
1.一种晶棒切割机的晶棒夹持结构,晶棒切割机包括:机体,其特征在于,所述晶棒夹持结构包括: 晶棒支撑柱,所述晶棒支撑柱设置于所述机体,所述晶棒支撑柱的一端设有承载台; 承载座,位于所述承载台,所述承载座与所述晶棒支撑柱垂直,所述承载座的边缘区域具有承载槽; 支撑架,所述支撑架设置于所述承载台; 丝杆,所述支撑架上具有第一螺孔,所述丝杆的一端可转动地穿设在所述第一螺孔中,所述丝杆垂直于所述承载座; 限位件,设置于所述丝杆的一端,所述限位件位于所述承载座的上方,所述限位件靠近所述承载座的一侧与所述承载槽相对的区域具有限位槽;在垂直于所述承载座的方向上所述限位件与所述承载座之间的间距可调节,在所述丝杆转动的情况下,所述丝杆带动所述限位件沿着靠近或远离所述承载座的方向移动。 2.根据权利要求1所述的晶棒夹持结构,其特征在于: 所述承载槽具有第一开口与第二开口,所述第一开口位于所述承载座的上表面,所述第二开口位于所述承载座的侧表面;和/或 所述承载槽具有第一槽壁与第二槽壁,所述第一槽壁为平面,所述第二槽壁为弧形,所述限位槽的槽壁为弧形,所述第一槽壁与所述承载座的上表面垂直,所述第二槽壁与所述限位槽的槽壁在第一平面上的正投影重合,所述第一平面为所述承载座的上表面所在的平面。 3.根据权利要求1所述的晶棒夹持结构,其特征在于: 所述承载座可拆卸地设于所述承载台上。 4.根据权利要求1所述的晶棒夹持结构,其特征在于: 所述支撑架包括: 第一支撑件,固定设置于所述承载台上,所述第一支撑件具有所述第一螺孔。 5.根据权利要求4所述的晶棒夹持结构,其特征在于:所述第一支撑件包括: 第一支撑杆,所述第一支撑杆的一端部与所述承载台固定连接; 连接件,所述连接件的一端部连接在所述第一支撑杆的另一端部,所述连接件的另一端部具有所述第一螺孔。 6.根据权利要求5所述的晶棒夹持结构,其特征在于: 所述第一支撑杆为“L”型杆,所述第一支撑杆的一端与所述晶棒支撑柱平行,所述第一支撑杆的另一端与所述丝杆垂直。 7.根据权利要求5所述的晶棒夹持结构,其特征在于: 所述连接件为长条状,所述连接件与所述丝杆垂直,所述连接件上设有标尺,所述标尺与所述丝杆平行且间隔设置。 8.根据权利要求1所述的晶棒夹持结构,其特征在于: 还包括: 调节旋钮,设于所述丝杆的另一端。 9.根据权利要求1所述的晶棒夹持结构,其特征在于: 所述承载槽的槽壁设有第一弹性层,所述限位槽的槽壁设有第二弹性层。 10.一种晶棒切割机,包括:机体,其特征在于: 还包括如权利要求1至9中任一项所述的晶棒夹持结构,晶棒支撑柱设置于所述机体。 |
所属类别: |
实用新型 |