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原文传递晶棒转移装置及晶棒加工设备

专利名称：	晶棒转移装置及晶棒加工设备
摘要：	本申请涉及光伏技术领域，尤其是涉及一种晶棒转移装置及晶棒加工设备，晶棒转移装置包括：驱动主体，驱动主体设置有驱动组件；夹持组件，夹持组件设置于驱动组件，在驱动主体的驱动作用下，驱动组件能够在初始位置和目标位置之间往复运动；夹持组件包括夹爪，晶棒设置有晶托，夹爪能够夹持晶托，以使驱动组件带动夹持组件以及晶棒在初始位置和目标位置之间运动。本申请提供的晶棒转移装置，相较于人工搬移晶棒以在晶棒加工过程中实现上料、下料的过程中，本申请提供的晶棒转移装置显著提高了晶棒的转移效率，并且本实施例提供晶棒转移装置，通过夹持晶托而不直接对晶棒施力的方式，显著降低了晶棒受损的概率，提高了良品率，减少成本浪费。
专利类型：	实用新型
申请人：	广东利元亨智能装备股份有限公司;广东舜储智能装备有限公司
发明人：	请求不公布姓名
专利状态：	有效
申请日期：	2022-12-19T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-07T00:00:00+0800
申请号：	CN202223425655.2
公开号：	CN219968449U
代理机构：	北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
代理人：	刘锋
分类号：	B28D5/00;B28D7/04;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/00;B28D7/04
申请人地址：	516057 广东省惠州市惠城区马安镇新鹏路4号;
主权项：	1.一种晶棒转移装置，其特征在于，包括：驱动主体，所述驱动主体设置有驱动组件；夹持组件，所述夹持组件设置于所述驱动组件，在所述驱动主体的驱动作用下，所述驱动组件能够在初始位置和目标位置之间往复运动；所述夹持组件包括夹爪，所述晶棒设置有晶托，所述夹爪能够夹持所述晶托，以使所述驱动组件带动所述夹持组件以及所述晶棒在所述初始位置和所述目标位置之间运动。 2.根据权利要求1所述的晶棒转移装置，其特征在于，所述驱动主体为机械臂；所述驱动主体包括：固定底座；第一臂部，可转动地设置于所述固定底座；第二臂部，可转动地设置于所述第二臂部；第三臂部，可转动地设置于所述第二臂部，所述驱动组件可转动地设置于所述第三臂部。 3.根据权利要求2所述的晶棒转移装置，其特征在于，所述驱动组件包括：固定件，与所述第三臂部相连接；驱动构件，设置于所述固定件，所述夹持组件与所述驱动构件相连接，所述驱动构件能够驱动所述夹持组件旋转。 4.根据权利要求3所述的晶棒转移装置，其特征在于，所述夹持组件还包括：固定板，与所述驱动构件相连接；滑移组件，设置于所述固定板；所述夹爪设置于所述滑移组件。 5.根据权利要求4所述的晶棒转移装置，其特征在于，所述滑移组件包括设置在所述固定板上的滑移导轨；所述夹爪的数量为两个，每一所述夹爪均包括滑动连接部和夹持部，两个所述夹爪的所述滑动连接部分别与所述滑移导轨滑动连接；滑移驱动件，设置于所述固定板，所述滑移驱动件作用于所述滑动连接部，以使两个所述夹爪相互靠近或远离。 6.根据权利要求5所述的晶棒转移装置，其特征在于，所述夹持组件还包括加强连接件，所述加强连接件同时与所述滑动连接部和所述夹持部连接。 7.根据权利要求1至6中任一项所述的晶棒转移装置，其特征在于，所述晶托设置有用于供所述夹爪夹持的夹持构件，所述夹持构件包括间隔设置的第一夹持滑轨和第二夹持滑轨，所述第一夹持滑轨和所述第二夹持滑轨分别设置有卡槽，所述夹爪能够与所述卡槽适配卡接。 8.根据权利要求2所述的晶棒转移装置，其特征在于，所述固定底座设置有旋转座和用于驱动所述旋转座旋转的驱动机构，所述第一臂部与所述旋转座转动连接。 9.根据权利要求8所述的晶棒转移装置，其特征在于，所述第一臂部与所述旋转座之间形成第一关节部，所述第一关节部设置有第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述第一臂部以所述第一关节部为枢转中心发生旋转；所述第一臂部与所述第二臂部之间形成有第二关节部，所述第二关节部设置有第二驱动件，所述第二驱动件用于驱动所述第二臂部以所述第二关节部为枢转中心发生旋转；所述第二臂部设置有第三驱动件，所述第三驱动件与所述第三臂部相连接。 10.一种晶棒加工设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的晶棒转移装置。
所属类别：	实用新型