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用于光学检查系统的高速真空循环激励系统
| 专利名称： | 用于光学检查系统的高速真空循环激励系统 |
| 摘要： | 本发明提供用于光学检查系统的高速真空循环激励系统。用于检查工件的真空系统和能够包括使用真空系统检查工件的方法，真空系统能够包括：壳体，其限定真空室的至少一部分；活塞，其在壳体内振荡以改变真空室的容积；第一阀和第二阀，其流体连通所述真空室；以及罩，其流体连通第二阀和真空室。真空系统能够包括高速阀，高速阀能够使真空系统循环因而真空压力以快速频率循环。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 美国;US |
| 申请人： | 波音公司 |
| 发明人： | M·萨法伊;王晓熙 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810633889.5 |
| 公开号： | CN109100354A |
| 代理机构： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
| 代理人： | 王小东 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88;G01N21/01 |
| 申请人地址： | 美国伊利诺伊州 |
| 主权项： | 1.一种用于检查工件的真空系统(100)，所述真空系统包括：壳体(106)，该壳体(106)限定真空室(108)的至少一部分；活塞(112)，该活塞(112)在所述壳体内，其中，所述活塞构造为振荡，从而改变所述真空室的室容积；第一阀(118)，该第一阀(118)流体连通所述真空室，其中，所述第一阀包括第一或者打开位置和第二关闭位置，所述第一或者打开位置允许气体进入所述真空室以及允许所述气体排出所述真空室，所述第二关闭位置防止所述气体通过所述第一阀进入所述真空室以及防止所述气体通过所述第一阀排出所述真空室；第二阀(120)，该第二阀(120)流体连通所述真空室，其中，所述第二阀包括打开位置和关闭位置，所述打开位置允许所述气体进入所述真空室并且允许所述气体排出所述真空室，所述关闭位置防止所述气体通过所述第二阀进入所述真空室以及防止所述气体通过所述第二阀排出所述真空室；以及罩(124)，该罩(124)流体连通所述第二阀和所述真空室，其中，所述第二阀在所述打开位置允许所述气体在所述真空室和所述罩之间流动，并在所述关闭位置防止所述气体通过所述第二阀在所述真空室和所述罩之间流动。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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