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一种玻璃基板表面缺陷方向及高低的测试方法
| 专利名称： | 一种玻璃基板表面缺陷方向及高低的测试方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种玻璃基板的测试方法，包括如下步骤：制作样品，将带有玻璃缺陷的玻璃基板裁切为≤200×200mm，优选为≤150×150mm，更优选为≤100×100mm，去除玻璃基板及缺陷表面的污渍；对缺陷位置进行定位；测量参数设定，测量行程设为3000μm以下，探针扫描速度设为50μm/S以下，探针压力设为10mg以下；和测量步骤，采用台阶仪测试玻璃基板表面缺陷的方向及高低。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 四川旭虹光电科技有限公司 |
| 发明人： | 任书明;胡正宜;宫汝华 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810578783.X |
| 公开号： | CN108802283A |
| 代理机构： | 北京彩和律师事务所 11688 |
| 代理人： | 刘磊;闫桑田 |
| 分类号： | G01N33/00(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N33;G01N33/00 |
| 申请人地址： | 621099 四川省绵阳市经开区涪滨路北段177号 |
| 主权项： | 1.一种玻璃基板的测试方法，包括如下步骤：制作样品，将带有玻璃缺陷的玻璃基板裁切为≤200×200mm，优选为≤150×150mm，更优选为≤100×100mm，去除玻璃基板及缺陷表面的污渍；对缺陷位置进行定位；测量参数设定，测量行程设为3000μm以下，探针扫描速度设为50μm/S以下，探针压力设为10mg以下；和测量步骤，采用台阶仪测试玻璃基板表面缺陷的方向及高低。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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