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原文传递 一种检查玻璃基板表面的方法
专利名称: 一种检查玻璃基板表面的方法
摘要: 本公开涉及一种检查玻璃基板表面的方法,该方法包括:S1、用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面,使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水;S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面,则所述玻璃基板表面无污染物;若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布,则所述玻璃基板表面有污染物。通过本公开的检查玻璃基板表面的方法能更加准确、快速且方便地确认玻璃基板表面是否存在污染物。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 安徽;34
申请人: 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司
发明人: 干丛龙;李兆廷;石志强;李震;李俊生;张北斗;陈德青
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201810772334.9
公开号: CN108872259A
代理机构: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447
代理人: 耿超;王浩然
分类号: G01N21/94(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/94;G01N21/88
申请人地址: 241000 安徽省芜湖市经济技术开发区万春街道纬二次路36号
主权项: 1.一种检查玻璃基板表面的方法,其特征在于,该方法包括:S1、用水蒸气熏染待检查的玻璃基板的表面,使水蒸气在所述玻璃基板的表面冷凝为液态水;S2、若所述液态水连接成片状且均匀分布于所述玻璃基板表面,则所述玻璃基板表面无污染物;若所述液态水在所述玻璃基板表面凝结为水珠且呈颗粒状分布,则所述玻璃基板表面有污染物。
所属类别: 发明专利
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