原文传递
基于迈克尔逊剪切散斑干涉的材料内部缺陷检测系统
| 专利名称： | 基于迈克尔逊剪切散斑干涉的材料内部缺陷检测系统 |
| 摘要： | 本发明涉及剪切散斑干涉技术领域，具体公开了一种基于迈克尔逊剪切散斑干涉的材料内部缺陷检测系统。其包括激光器、扩束镜、第一透镜、第二透镜、第一偏振片、空间光调制器、第三透镜、第二偏振片和CCD；激光器出射的激光依次经过被测物表面、第一透镜、第一偏振片和第二透镜，SLM对第二透镜输入光的傅里叶变换进行调制，并给e光号增加相位因子，经SLM调制的e光和未经SLM调制的o光经第三透镜入射到第二偏振片，e光和o光分别经第二偏振片产生的第一光束和第二光束投照到CCD靶面上，以在CCD靶面相互干涉。该检测系统既克服人工调节剪切量带来的测量误差，且对SLM的反射角度要求低，降低系统调节的难度，对激光光源无要求。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 合肥工业大学 |
| 发明人： | 王永红;孙方圆;闫佩正;赵琪涵;陈维杰;钟诗民 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810079279.5 |
| 公开号： | CN108226170A |
| 代理机构： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
| 代理人： | 王莹;余罡 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88 |
| 申请人地址： | 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号 |
| 主权项： | 1.一种基于迈克尔逊剪切散斑干涉的材料内部缺陷检测系统，其特征在于，包括：激光器、扩束镜、第一透镜、第二透镜、第一偏振片、空间光调制器、第三透镜、第二偏振片和电荷藕合器件图像传感器；所述空间光调制器位于所述第二透镜的傅里叶频谱面上，所述激光器出射的激光入射到被测物的表面，并经所述被测物的表面反射到所述第一透镜，经所述第一透镜聚焦后经所述第一偏振片形成能够调偏振方向的线偏振光；所述线偏振光经过所述第二透镜进行傅里叶变换，所述空间光调制器对所述第二透镜输入光的傅里叶变换进行调制，并给非寻常光增加一个空间相位因子，经所述空间光调制器调制后的非寻常光和未经所述空间光调制器调制后的寻常光经所述第三透镜聚焦到电荷藕合器件图像传感器靶面上，在所述第三透镜和所述电荷藕合器件图像传感器之间设置有第二偏振片，所述第二偏振片的偏振方向与所述非寻常光和所述寻常光呈夹角α，其中，0°<α<90°，所述非寻常光经所述第二偏振片产生的第一光束和所述寻常光经所述第二偏振片产生的第二光束投照到所述电荷藕合器件图像传感器靶面上，以在所述电荷藕合器件图像传感器靶面上形成所述第一光束和所述第二光束经过相互干涉形成的散斑干涉图。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
