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基于空间载波的三方向剪切散斑干涉系统及方法
| 专利名称： | 基于空间载波的三方向剪切散斑干涉系统及方法 |
| 摘要： | 本发明实施例公开一种基于空间载波的三方向剪切散斑干涉系统，包括：激光器、第一透镜、三组束器组、成像器件；所述第一透镜设置在所述激光器与被测物之间，所述激光器发出的光束经所述第一透镜照射在被测物上，所述被测物反射光经所述三组束器组后在所述成像器件上成像；其中，所述三组束器组中每一组束器组包括分束器、合束器、第二透镜及孔径光阑，所述第二透镜及所述孔径光阑设置在所述分束器与所述合束器之间光路上。本发明实施例将被测物分成三束光路成像到像面上，并且相互干渉，从而通过单个相机对被测物进行三方向同步剪切散斑检测。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 合肥工业大学 |
| 发明人： | 闫佩正;王永红;孙方圆;钟诗民 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811405017.X |
| 公开号： | CN109297931A |
| 代理机构： | 北京久诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11542 |
| 代理人： | 翟姝红 |
| 分类号： | G01N21/45(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号 |
| 主权项： | 1.一种应用基于空间载波的三方向剪切散斑干涉系统进行成像的方法，其特征在于，所述基于空间载波的三方向剪切散斑干涉系统包括：激光器、第一透镜、三组束器组、成像器件；所述第一透镜设置在所述激光器与被测物之间，所述激光器发出的光束经所述第一透镜照射在被测物上，所述被测物反射光经所述三组束器组后在所述成像器件上成像；其中，所述三组束器组中每一组束器组包括分束器、合束器、第二透镜及孔径光阑，所述第二透镜及所述孔径光阑设置在所述分束器与所述合束器之间光路上；所述方法包括：旋转调节所述三组束器组中的每一组的所述分束器和/或所述合束器，使得所述每一组束器组的成像随旋转调节而平移，以调节所述三组束器组形成的三个像之间的剪切方向和剪切量；调节所述三组束器组中的所述孔径光阑的相互位置，以调节相互的空间载波大小。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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