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一种金属遮罩的支撑平台及检测装置
| 专利名称： | 一种金属遮罩的支撑平台及检测装置 |
| 摘要： | 本发明公开了一种金属遮罩的支撑平台及检测装置，支撑平台包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件；所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。本发明利用气浮板支撑金属遮罩并对金属遮罩吹起，将金属遮罩吹起的高度可以抵消金属遮罩因自身重量产生的下垂量，利用框体内的光源作为背光源，可以抵消金属遮罩产生的反射光的影响，从而确保金属遮罩的检测效果，大大提高金属遮罩的蒸镀成功率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 发明人： | 吴自强;杨慎东;郭连俊 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201711374274.7 |
| 公开号： | CN108007936A |
| 代理机构： | 北京品源专利代理有限公司 11332 |
| 代理人： | 胡彬 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G01N21/90(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/88;G01N21/90 |
| 申请人地址： | 215125 江苏省苏州市吴中区郭巷街道吴淞路892号2幢 |
| 主权项： | 一种金属遮罩的支撑平台，其特征在于，包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件；所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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