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一种基于光栅成像的缺陷检测成像方法
| 专利名称： | 一种基于光栅成像的缺陷检测成像方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于光栅成像的缺陷检测成像方法，包括光源、光栅、图像采集装置和图像处理系统；所述光源发出平行光；所述光栅为相位光栅，所述光源发出的平行光经相位光栅衍射，并在物体的表面形成明暗相间的云纹图像；所述图像采集装置采集物体的表面形成的云纹图像；所述图像处理系统接收图像采集装置所采集的云纹图像，判断物体表面是否具有缺陷。其其能够检测物体表面缺陷，检测精度高，检测效率高。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 苏州富鑫林光电科技有限公司 |
| 发明人： | 许照林;董鹏举 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201810927474.9 |
| 公开号： | CN109187550A |
| 代理机构： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 |
| 代理人： | 查杰;冯瑞 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 215011 江苏省苏州市工业园区金浦路11号怡达科技园F幢三层 |
| 主权项： | 1.一种基于光栅成像的缺陷检测成像方法，其特征在于，包括光源、光栅、图像采集装置和图像处理系统；所述光源发出平行光；所述光栅为相位光栅，所述光源发出的平行光经相位光栅衍射，并在物体的表面形成明暗相间的云纹图像；所述图像采集装置采集物体的表面形成的云纹图像；所述图像处理系统接收图像采集装置所采集的云纹图像，判断物体表面是否具有缺陷。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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