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原文传递一种碳化硅晶体快速定向方法

专利名称：	一种碳化硅晶体快速定向方法
摘要：	本发明公开了一种碳化硅晶体快速定向方法，利用切割前定向治具，直接把粘好玻璃棒的碳化硅晶棒通过胶水固定在切割前治具的平台上，然后通过切割前治具上的螺钉和蜗轮、蜗杆相互结合实现切割前治具上的平台能过进行水平和垂直方向上的运动，从而能够实现碳化硅晶棒水平和垂直方向角度的测量及定向，可以解决目前碳化硅晶棒切割前定向，存在操作性繁琐，精度低、耗时长等的问题，具有操作简单，耗时短，效率高，对人员操作要求低，精度高且不用将玻璃棒拿到磨床上进行研磨，成本低的特点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	福建北电新材料科技有限公司
发明人：	苏双图;张洁;林武庆;赖柏帆
专利状态：	有效
申请号：	CN201811282639.8
公开号：	CN109203266A
代理机构：	北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人：	汤东凤
分类号：	B28D7/00(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D7
申请人地址：	362211 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦
主权项：	1.一种碳化硅晶体快速定向方法，其特征在于，所述碳化硅晶体快速定向方法利用切割前定向治具分别通过控制上平台和下平台两个平台的垂直和水平方向的运动，对碳化硅晶棒垂直和水平方向进行定装，实现对碳化硅晶棒水平和垂直方向角度的测量；所述碳化硅晶体快速定向方法，包括以下步骤：S10，将碳化硅晶棒粘在切割前定向治具的上平台上，放置5min～8min，待胶水固化后，将粘结好的碳化硅晶棒的切割前定向治具紧固在X‑Ray定向仪上；S20，调节上平台上的调整螺钉，使上平台做垂直方向的运动，在X‑Ray定向仪的仪表上寻找指针的最高峰，此时的角度为碳化硅晶棒垂直方向的角度；S30，确定好碳化硅晶棒垂直方向的角度之后，将切割前定向治具从X‑Ray定向仪上拆下来，通过螺钉固定在线切机的载台上；S40，将固定好的线切机的载台和切割前定向治具，移至X‑Ray定向仪的卡槽内，进行碳化硅晶棒水平方向的定向，将X‑Ray定向仪显示器上显示的角度调整为碳化硅晶棒的角度；S50，将定向好的切割前定向治具和线切机的载台从X‑Ray定向仪上的卡槽取下来，放到线切机上进行切割。
所属类别：	发明专利