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共心多径腔增强激光诱导击穿光谱高灵敏检测装置及方法
| 专利名称： | 共心多径腔增强激光诱导击穿光谱高灵敏检测装置及方法 |
| 摘要： | 本发明属于激光光谱技术应用领域。一种激光诱导击穿光谱的高灵敏微量元素检测装置，包括与数字延时脉冲发生器（1）连接的第一激光器（2）和第二激光器（3）、处于第一激光器（2）激光发射方向的激光脉冲反射镜（5）、第一聚光装置（6）、第二聚光装置（4）、共心多径腔（8）、光纤及光谱仪（10）。本发明还涉及一种激光诱导击穿光谱的高灵敏微量元素检测方法。本发明将共心多径腔耦合入平行于样品的激光光路，对该束激光进行多次反射并会聚于样品烧蚀点附近，将正交双脉冲击穿过程中的剩余激光能量进行回收利用，可以有效增强谱线信号，达到更低的检测限。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 山西;14 |
| 申请人： | 山西大学 |
| 发明人： | 白禹;张雷;尹王保;肖连团;贾锁堂 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811199681.3 |
| 公开号： | CN109239055A |
| 代理机构： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 |
| 代理人： | 李富元 |
| 分类号： | G01N21/71(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 030051 山西省太原市小店区坞城路92号 |
| 主权项： | 1.一种共心多径腔增强激光诱导击穿光谱高灵敏检测装置，其特征在于：包括与数字延时脉冲发生器（1）连接的第一激光器（2）和第二激光器（3）、处于第一激光器（2）激光发射方向的激光脉冲反射镜（5）、第一聚光装置（6）、第二聚光装置（4）、共心多径腔（8）、光纤及光谱仪（10），第一激光器（2）发出的激光经过反射镜（5）反射和第一聚光装置（6）会聚后射入共心多径腔（8）形成垂直于共心多径腔（8）轴线方向的烧蚀激光，烧蚀激光在第一聚光装置（6）作用下聚焦于一点即烧蚀点，第二激光器（3）发出的激光经过第二聚光装置（4）会聚后射入共心多径腔（8）形成平行于共心多径腔（8）轴线方向的增强激光，增强激光到烧蚀点间的垂直距离为0‑2.5mm。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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