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原文传递一种增强激光诱导击穿光谱信号的方法及装置

专利名称：	一种增强激光诱导击穿光谱信号的方法及装置
摘要：	本发明公开一种增强激光诱导击穿光谱信号的方法及装置，包括：将脉冲激光垂直作用于样品表面，在所述样品表面产生激光聚焦点,并产生等离子体光谱信号；将微等离子体火焰直接作用于所述激光聚焦点，产生增强后的等离子体光谱信号；采集所述增强后的等离子体光谱信号，获取增强的激光诱导击穿光谱信号。本发明提供的技术方案简单实用、成本低，能够有效地增强LIBS的光谱信号以提高LIBS的检测灵敏度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	成都艾立本科技有限公司
发明人：	杨燕婷;温煦;段忆翔
专利状态：	有效
申请日期：	2018-02-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201810159770.9
公开号：	CN110196244A
代理机构：	成都高远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	谢一平;曾克
分类号：	G01N21/71(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	610000 四川省成都市武侯区科华北路65号B座2415
主权项：	1.一种增强激光诱导击穿光谱信号的方法，其特征在于，包括：将脉冲激光垂直作用于样品表面，在所述样品表面产生激光聚焦点,并产生等离子体光谱信号；将微等离子体火焰直接作用于所述激光聚焦点，产生增强后的等离子体光谱信号；采集所述增强后的等离子体光谱信号，获取增强的激光诱导击穿光谱信号。 2.根据权利要求1所述的增强激光诱导击穿光谱信号的方法，其特征在于，所述微等离子体火焰为直线状，微等离子体火焰与所述样品表面之间的夹角为10°；所述微等离子体火焰的长度为5±1mm。 3.根据权利要求2所述的增强激光诱导击穿光谱信号的方法，其特征在于，将脉冲激光通过聚焦透镜垂直作用于样品表面；将微等离子体火焰的外焰直接作用于所述激光聚焦点。 4.一种增强激光诱导击穿光谱信号的装置，其特征在于，包括：脉冲激光器(1)，光路模块，光谱仪(2)，控制器(3)，光纤(4)，光纤探头(5)，样品台(6)，微等离子体火焰发生器(7)；所述脉冲激光器(1)产生的脉冲激光通过所述光路模块垂直作用于所述样品台(6)上；样品(8)置于所述样品台(6)上；所述微等离子体火焰发生器(7)位于所述样品(8)表面的一侧上方；所述光纤探头(5)位于所述样品(8)表面的另一侧上方；所述光纤探头(5)连接所述光纤(4)的一端，光纤(4)的另一端连接所述光谱仪(2)；所述光谱仪(2)和所述脉冲激光器(1)均与所述控制器(3)电性连接。 5.根据权利要求4所述的增强激光诱导击穿光谱信号的装置，其特征在于，所述光路模块包括：反射镜(9)，聚焦透镜(10)；所述反射镜(9)位于所述脉冲激光器(1)的出射光路上；所述反射镜(9)位于所述聚焦透镜(10)的入射光路上；所述样品台(6)位于所述聚焦透镜(10)的出射光路上；所述反射镜(9)和所述聚焦透镜(10)同轴，反射镜(9)和聚焦透镜(10)之间的夹角为45°。 6.根据权利要求5所述的增强激光诱导击穿光谱信号的装置，其特征在于，所述样品(8)表面到所述聚焦透镜(10)之间的距离为40mm。 7.根据权利要求5所述的增强激光诱导击穿光谱信号的装置，其特征在于，所述光纤探头(5)与所述样品(8)表面之间的夹角为20°。 8.根据权利要求4所述的增强激光诱导击穿光谱信号的装置，其特征在于，所述样品台(6)为三维位移样品台。
所属类别：	发明专利