专利名称: |
高通量组合材料芯片的检测系统及其检测方法 |
摘要: |
本发明提供一种高通量组合材料芯片的检测系统及其检测方法,所述检测方法包括步骤:调整校正光源的位置,以使得校正光源的光斑中心的坐标与X射线发射装置的光斑中心的坐标重合;控制装置控制样品台移动高通量组合材料芯片阵列,以使得高通量组合材料芯片阵列的第一个样品中心的坐标与校正光源的光斑中心的坐标重合;控制装置控制样品台移动高通量组合材料芯片阵列,以使得X射线发射装置发射的X射线依次入射至高通量组合材料芯片阵列的样品上;数据处理装置依次获取经高通量组合材料芯片阵列的样品衍射的测量光束并对所述测量光束进行分析。所述检测系统及其检测方法能够实现自动、快速、有效对高通量组合材料芯片阵列的样品进行检测。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
发明人: |
茹占强;宋贺伦;朱煜;宋盛星;张耀辉 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201710632654.X |
公开号: |
CN109324072A |
代理机构: |
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 |
代理人: |
孙伟峰 |
分类号: |
G01N23/20(2018.01)I;G;G01;G01N;G01N23 |
申请人地址: |
215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号 |
主权项: |
1.一种高通量组合材料芯片的检测系统,其特征在于,包括:X射线发射装置,用于发射X射线至高通量组合材料芯片阵列的样品上,所述高通量组合材料芯片阵列包括多个呈阵列排布的样品;样品台,用于承载所述高通量组合材料芯片阵列;控制装置,用于控制所述样品台沿X轴、Y轴、Z轴移动,以使得所述X射线发射装置发射的X射线依次入射至所述高通量组合材料芯片阵列的样品上;数据处理装置,用于依次获取经所述高通量组合材料芯片阵列的样品衍射的测量光束并对所述测量光束进行分析。 |
所属类别: |
发明专利 |