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一种基于钯铜纳米线薄膜的声表面波氢气传感器
| 专利名称： | 一种基于钯铜纳米线薄膜的声表面波氢气传感器 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于钯铜纳米线薄膜的声表面波氢气检测传感器，包括：差分式振荡电路板，基于差分式振荡电路板设置有气室，声表面波参考延迟线器件和声表面波检测延迟线器件平行且同向设置于气室中，气室和气泵通过气管连接；声表面波检测延迟线器件上涂覆有钯铜纳米线薄膜。与现有的声表面波氢气传感器相比，本发明通过采用将湿化学法合成的钯铜纳米线材料作为敏感膜，并采用滴涂的方式将钯铜纳米线薄膜镀于声表面波延迟线器件上，提高了声表面波氢气传感器检测结果的稳定性、重复性、检测速度和检测范围。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 中国科学院声学研究所 |
| 发明人： | 王文;刘雪莉;梅盛超;梁勇;张玉凤 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811420137.7 |
| 公开号： | CN109342558A |
| 代理机构： | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 |
| 代理人： | 陈霁 |
| 分类号： | G01N29/036(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N29 |
| 申请人地址： | 100190 北京市海淀区北四环西路21号 |
| 主权项： | 1.一种基于钯铜纳米线薄膜的声表面波氢气检测传感器，包括：差分式振荡电路板(3)，基于所述差分式振荡电路板(3)设置有气室(5)，声表面波参考延迟线器件(6)和声表面波检测延迟线器件(7)平行且同向设置于气室(5)中，所述气室(5)和气泵(4)通过气管(1)连接；其特征在于，所述声表面波检测延迟线器件(7)上涂覆有钯铜纳米线薄膜(2)。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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