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原文传递 一种基于柔性声表面波器件的湿度传感器
专利名称: 一种基于柔性声表面波器件的湿度传感器
摘要: 一种基于柔性声表面波器件的湿度传感器,包括湿度信号采集单元,信号转换单元,数据处理单元,信号传输单元和信号接收单元;所述湿度信号采集单元用于采集湿度信号,采用一柔性声表面波器件,当外界湿度发生变化时,声表面波传递时将会受到外界湿度的影响,形成不同波形的声表面波;所述柔性声表面波器件包括叉指换能器、反射栅、PVDF压电层薄膜和PDMS柔性衬底,所述PVDF压电层薄膜位于PDMS柔性衬底上,所述叉指换能器、反射栅位于所述PVDF压电层薄膜上。本发明灵敏度较好,器件小巧,性能卓越,适应各种使用环境,拥有广泛的应用前景。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 浙江;33
申请人: 宁海县浙工大科学技术研究院
发明人: 吴化平;诸骏;刘振东;陈宇丹
专利状态: 有效
申请日期: 2019-06-12T00:00:00+0800
发布日期: 2019-09-20T00:00:00+0800
申请号: CN201910504139.2
公开号: CN110261471A
代理机构: 杭州斯可睿专利事务所有限公司
代理人: 王利强
分类号: G01N29/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N29
申请人地址: 315600 浙江省宁波市宁海县桃源北路2号科创中心8楼
主权项: 1.一种基于柔性声表面波器件的湿度传感器,其特征在于,所述湿度传感器包括湿度信号采集单元,信号转换单元,数据处理单元,信号传输单元和信号接收单元; 所述湿度信号采集单元用于采集湿度信号,采用一柔性声表面波器件,当外界湿度发生变化时,声表面波传递时将会受到外界湿度的影响,形成不同波形的声表面波;所述柔性声表面波器件包括叉指换能器、反射栅、PVDF压电层薄膜和PDMS柔性衬底,所述PVDF压电层薄膜位于PDMS柔性衬底上,所述叉指换能器、反射栅位于所述PVDF压电层薄膜上。 2.如权利要求1所述的基于柔性声表面波器件的湿度传感器,其特征在于,所述叉指换能器为金薄膜制成。 3.如权利要求1或2所述的基于柔性声表面波器件的湿度传感器,其特征在于,所述反射栅为金薄膜制成。 4.如权利要求1或2所述的基于柔性声表面波器件的湿度传感器,其特征在于,所述信号转换单元包括一个微型模数转换器,用于将所述传感器采集的电信号转换为数字信号。 5.如权利要求1或2所述的基于柔性声表面波器件的湿度传感器,其特征在于,所述数据处理单元是将采集到的信号与存储在数据处理单元中标准压力信号做对比。 6.如权利要求1或2所述的基于柔性声表面波器件的湿度传感器,其特征在于,所述信号传输单元采用蓝牙发送模块,所述信号接收单元为用户手机,蓝牙发送模块将数据处理结果发送到手机APP中。 7.如权利要求1或2所述的基于柔性声表面波器件的湿度传感器,其特征在于,所述湿度传感器的供电单元采用纽电源。
所属类别: 发明专利
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