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一种基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器
| 专利名称： | 一种基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器,应用于湿度检测领域。本发明将应用在人造皮肤、生物医用材料等领域的细菌纤维素制成薄膜用作声表面波湿度传感器中的传感膜。利用细菌纤维素的丝状纤维网状结构和表面羟基基团，使传感膜具有超强透水性和持水性的特性。从而使声表面波湿度传感器的质量负载效应发挥作用，能够大量快速的吸附水分子从而改变传感膜质量参数来检测湿度。传感器对湿度检测有极高的灵敏度，且响应和恢复时间短，热稳定性以及长期稳定性好。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 电子科技大学 |
| 发明人： | 王金龙;郭袁俊;唐永亮;李登极 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-07-08T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-09-13T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910609864.6 |
| 公开号： | CN110231399A |
| 代理机构： | 电子科技大学专利中心 |
| 代理人： | 闫树平 |
| 分类号： | G01N29/036(2006.01);G;G01;G01N;G01N29 |
| 申请人地址： | 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 |
| 主权项： | 1.一种基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器，其特征在于：包括声表面波谐振器、铝电极和外围振荡电路； 所述外围振荡电路包括移相电路和放大电路，其中移相电路用于声波信号相位翻转，放大电路用于放大经移相电路相位翻转后的声波信号； 所述声表面波谐振器由压电基底、以及从左向右依次设置于压电基底上的反射栅、输入叉指换能器、传感膜、输出叉指换能器、反射栅构成； 所述输入叉指换能器通过铝电极连接到移相电路的输入端，所述移相电路输出端通过放大器、铝电极连接到输出叉指换能器； 所述传感膜为由细菌纤维素制成的细菌纤维素薄膜。 2.根据权利要求1所述的基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器，其特征在于：所述细菌纤维素薄膜沉积厚度为80～150nm。 3.根据权利要求1所述的基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器其特征在于：所述细菌纤维素薄膜的比表面积为80～120m2/g，平均孔径为30～35nm，中孔率为60％～70％。 4.根据权利要求1-3任一项所述的基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器，其特征在于：所述压电基底为ST-cut(42°75’)石英(12mm×3mm×0.5mm)晶体。 5.根据权利要求3所述所述的基于细菌纤维素传感膜的声表面波湿度传感器，其特征在于：所述石英基底上的涂覆的细菌纤维素薄膜为5层，总厚度为120nm。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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