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一种具有微加热功能的声表面波湿度传感器
| 专利名称： | 一种具有微加热功能的声表面波湿度传感器 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有微加热功能的声表面波湿度传感器，包括声表面波器件，微加热器和控制电路；声表面波器件和微加热器共同建立在公有内部结构压电晶体基底上实现物理连接，控制电路通过电连接控制微加热器。声表面波器件包括压电晶体基底、湿敏材料、叉指换能器、第一叉指反射器和第二叉指反射器；湿敏材料位于叉指换能器、第一叉指反射器和第二叉指反射器之间的空白区域。本发明所设计的传感器，可通过微加热器控制声表面波器件的温度，解决了传感器在零下温度情况下由于水凝结成冰的原因而导致无法正常工作的问题，具有全湿度范围测量，大动态范围测量的优点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 中国科学院声学研究所 |
| 发明人： | 王文;贾雅娜;薛蓄峰;刘梦伟;梁勇;王毅坚 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810940826.4 |
| 公开号： | CN108918673A |
| 代理机构： | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 |
| 代理人： | 陈霁 |
| 分类号： | G01N29/04(2006.01)I;G01N29/22(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N29;G01N29/04;G01N29/22 |
| 申请人地址： | 100190 北京市海淀区北四环西路21号 |
| 主权项： | 1.一种具有微加热功能的声表面波湿度传感器，其特征在于，包括：声表面波器件(9)，微加热器(1)和控制电路(7)；所述声表面波器件(9)和微加热器(1)共同建立在公有内部结构压电晶体基底(3)上实现物理连接，控制电路(7)通过电连接控制微加热器(1)；其中，所述声表面波器件(9)包括：压电晶体基底(3)、湿敏材料(2)、叉指换能器(4)、第一叉指反射器(5)和第二叉指反射器(6)；所述湿敏材料(2)、叉指换能器(4)、第一叉指反射器(5)和第二叉指反射器(6)位于压电晶体基底(3)上，所述湿敏材料(2)位于叉指换能器(4)、第一叉指反射器(5)和第二叉指反射器(6)之间的空白区域。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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